[发明专利]涂布装置以及涂布方法有效
| 申请号： | 201380048511.4 | 申请日： | 2013-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN104661759B | 公开（公告）日： | 2017-11-28 |
| 发明（设计）人： | 林田健儿;北村义之;川竹洋;大霜征彦;村尾幸一 | 申请（专利权）人： | 东丽工程株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/10;B05D1/26;B05D3/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 李辉,于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 即使在向基板涂布粘度比较高的涂布液的情况下，也能够在基板上高精度并且高速地形成涂膜。具体而言，涂布装置(1)具有容器(9)，其积存涂布液；以及喷嘴(3)，其形成有缝(21)，该缝(21)喷出从该容器(9)供给的涂布液，该涂布装置(1)通过从缝(21)喷出涂布液从而向基板涂布涂布液。涂布装置(1)具有升温部(30)，其使从容器(9)供给的涂布液升温；以及均温部(40)，其在从缝(21)喷出由该升温部升温后的涂布液之前，使该涂布液的温度均匀化。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种涂布装置，其具有：容器，其积存涂布液；以及喷嘴，其形成有缝，该缝喷出从所述容器供给的涂布液，所述涂布装置通过从该缝喷出涂布液从而向基板涂布涂布液，其特征在于，所述涂布装置具有：升温部，其使从所述容器供给的所述涂布液升温；以及均温部，其在从所述缝喷出由所述升温部升温后的涂布液之前，使该涂布液的温度均匀化，在所述喷嘴内形成有作为所述缝的第一缝、与该第一缝连接的第一歧管、第二歧管以及连结所述第一歧管与所述第二歧管的第二缝，所述第二缝的流路截面比所述第一缝的流路截面大，所述第二缝的流路截面是在与所述喷嘴的长度方向相同的方向上较长、且在与该长度方向正交的方向上较窄的细长形状，由此使该第二缝作为用于使涂布液的温度均匀化到涂布液内部的热传递用流路发挥功能，将由所述均温部产生的热量传递给流过所述第二缝的涂布液，由此，在从流路截面比所述第二缝小的所述第一缝喷出涂布液之前，使得由所述升温部升温后的涂布液的温度在所述喷嘴的长度方向上均匀化。
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