[发明专利]涂布装置以及涂布方法

权利要求书

1.一种涂布装置，其具有：容器，其积存涂布液；以及喷嘴，其形成有缝，该缝喷出从所述容器供给的涂布液，所述涂布装置通过从该缝喷出涂布液从而向基板涂布涂布液，其特征在于，

所述涂布装置具有：

升温部，其使从所述容器供给的所述涂布液升温；以及

均温部，其在从所述缝喷出由所述升温部升温后的涂布液之前，使该涂布液的温度均匀化，

在所述喷嘴内形成有作为所述缝的第一缝、与该第一缝连接的第一歧管、第二歧管以及连结所述第一歧管与所述第二歧管的第二缝，所述第二缝的流路截面比所述第一缝的流路截面大，

所述第二缝的流路截面是在与所述喷嘴的长度方向相同的方向上较长、且在与该长度方向正交的方向上较窄的细长形状，由此使该第二缝作为用于使涂布液的温度均匀化到涂布液内部的热传递用流路发挥功能，

将由所述均温部产生的热量传递给流过所述第二缝的涂布液，由此，在从流路截面比所述第二缝小的所述第一缝喷出涂布液之前，使得由所述升温部升温后的涂布液的温度在所述喷嘴的长度方向上均匀化。

2.根据权利要求1所述的涂布装置，其中，

所述均温部具有：加热机构；以及作为所述热传递用流路的所述第二缝，该热传递用流路是供由所述升温部升温后的涂布液流过的流路，其与涂布液的流动方向正交的流路截面至少在所述正交的方向上变窄，所述均温部使由所述加热机构产生的热量传递到流过所述热传递用流路的涂布液，使由所述升温部升温后的涂布液的温度在所述喷嘴的长度方向上均匀化。

3.根据权利要求2所述的涂布装置，其中，

作为所述热传递用流路的所述第二缝是与所述第一缝不同的流路，

在作为所述热传递用流路的所述第二缝与所述第一缝之间，设置有作为积存涂布液的扩大空间流路的所述第一歧管。

4.一种涂布方法，该涂布方法是通过具有喷嘴的涂布装置进行的，该喷嘴形成有喷出从容器供给的涂布液的缝，所述涂布方法通过从该缝喷出涂布液从而向基板涂布涂布液，其特征在于，

在所述喷嘴内形成有作为所述缝的第一缝、与该第一缝连接的第一歧管、第二歧管以及连结所述第一歧管与所述第二歧管的第二缝，所述第二缝的流路截面比所述第一缝的流路截面大，

所述第二缝的流路截面是在与所述喷嘴的长度方向相同的方向上较长、且在与该长度方向正交的方向上较窄的细长形状，由此使该第二缝作为用于使涂布液的温度均匀化到涂布液内部的热传递用流路发挥功能，

使从所述容器供给的所述涂布液升温，

在从流路截面比所述第二缝小的所述第一缝喷出该升温后的涂布液之前，将所述喷嘴的热量传递给流过所述第二缝的涂布液，使该涂布液的温度在所述喷嘴的长度方向上均匀化。