[发明专利]涂布装置以及涂布方法

说明书

技术领域

本发明涉及通过从形成于喷嘴的缝喷出涂布液从而向基板涂布涂布液的涂布装置以及涂布方法。

背景技术

作为向玻璃基板和胶片等基板涂布涂布液的装置，公知有如下的涂布装置(例如，参照专利文献1)，该涂布装置具有喷嘴，该喷嘴形成有喷出涂布液的缝。该涂布装置具有：积存涂布液的容器；以及用于将该容器内的涂布液供给到喷嘴的缝的泵。

缝沿着基板的宽度方向形成为较长，例如，通过一边使喷嘴相对于载置于载台上的基板水平移动，一边从缝喷出涂布液，从而能够在基板的表面上形成涂布液的薄膜(涂膜)。

在使用这样的涂布装置开始向基板涂布粘度比较高的涂布液的情况下，因从泵到喷嘴的树脂制配管以及喷嘴内的缝的阻力，导致相对于泵的动作开始，涂布液的流动和涂布液从缝的喷出动作产生延迟，因该延迟而导致在涂布开始时涂膜厚度降低而给涂布品质带来影响。

并且，若为了高速地涂布粘度比较高的涂布液，而提高涂布液从泵的供给速度，则在喷嘴内的缝处阻力增大，内压增高。因该内压的增高，而导致作为细长的直线形状的缝向细长的鼓状变形，从缝的长边方向(宽度方向)中央部喷出的涂布液所形成的膜厚变得比端部的膜厚厚，成为膜厚在宽度方向上不同的结果，从而膜厚的精度会大幅度地降低。此外，为了利用粘度高的涂布液与粘度低的涂布液分别形成相同厚度的涂膜，也存在如下原理性问题：如果不使粘度高的涂布液比粘度低的涂布液的涂布速度(喷嘴的移动速度)低，则无法形成这样的涂膜。

因此，认为在向基板涂布粘度比较高的涂布液的情况下，若以涂布品质的确保为第1优先，则需要降低涂布液的供给速度，并降低喷嘴的移动速度。若降低涂布液的供给速度(涂布液的流速)，则能够减小流路的阻力，能够抑制上述这样的延迟的产生和宽度方向的膜厚精度的降低。

并且，作为其他的方法，通过不降低涂布液的供给速度而增大到喷嘴为止的配管直径，进而增大缝的间隙量(平行的缝隙的宽度)，由此，能够减小流路的阻力，抑制因上述这样的延迟的产生和缝的变形而导致的宽度方向的膜厚精度的降低。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000－157906号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，如上所述，在延迟涂布液的供给速度，并延迟喷嘴的移动速度的情况下，涂布时间会增加，生产率会降低。

并且，如上所述，若增大到喷嘴为止的配管直径，例如，在需要将配管弯曲成U字形的情况下，需要将其曲率半径设定为较大，并且，需要将用于配管的接头等也增大，会使从泵到喷嘴的设备大型化。并且，若为了减小流路阻力而过度增大喷嘴的缝的间隙量，则会无法从缝均匀地喷出涂布液，在基板上形成的涂膜的宽度方向的膜厚精度降低，显著降低涂布品质。

以上的问题是因涂布液的粘度升高而产生的。因此，如果加热涂布液提高温度而降低粘度，则能够避免以上的问题。此外，通过降低粘度还能够产生如下效果：为了得到相同的膜厚，能够提高涂布速度。不过，若涂布液未被均匀加热，而因温度不匀导致存在粘度不匀，则涂布液无法从缝沿宽度方向均匀喷出，宽度方向的膜厚精度降低，涂布品质会受损。

因此，本发明的目的在于，即使在向基板涂布粘度比较高的涂布液的情况下，也能够在基板上高精度并且高速地形成涂布液的薄膜(涂膜)。

用于解决课题的手段

本发明提供了一种涂布装置，其具有：容器，其积存涂布液；以及喷嘴，其形成有缝，该缝喷出从该容器供给的涂布液，所述涂布装置通过从该缝喷出涂布液从而向基板涂布涂布液，其特征在于，所述涂布装置具有：升温部，其使从所述容器供给的所述涂布液升温；以及均温部，其在从所述缝喷出由所述升温部升温后的涂布液之前，使该涂布液的温度均匀化。

根据本发明，即使在向基板涂布粘度比较高的涂布液的情况下，也能够通过使从容器供给的涂布液升温，从而降低从缝喷出的涂布液的粘度，减小流动的涂布液的阻力。并且，在从缝喷出的涂布液中，在该缝的长边方向上产生温度差(温度不匀)的情况下，会因粘度不匀而导致产生膜厚不匀，但是，根据本发明，由于在从缝喷出升温后的涂布液前，能够通过使该涂布液的温度均匀化从而使粘度也为较低值且均匀化，因此，能够在基板上形成均匀厚度的涂膜。其结果为，能够在基板上高精度地形成涂膜。此外，也能够通过使粘度变低，从而更高速地进行涂布。