[发明专利]蒸发源有效
| 申请号： | 201380044630.2 | 申请日： | 2013-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN104603321B | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 近藤喜成;山田尚人;小林义仁;佐藤聪;松本荣一 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 庞东成;褚瑶杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供蒸发源，其使接触所导致的热变动的影响难以波及蒸镀材料，能够使蒸镀材料的温度分布均匀化，能够实现蒸镀材料蒸发量的稳定化。蒸发源包含如下部分：坩埚(2)，其中可填充蒸镀材料(1)；加热部(3)，其被设成包围该坩埚(2)；和收纳体(4)，其收纳并配置所述坩埚(2)和所述加热部(3)，该蒸发源的构成中：在所述坩埚(2)的外侧面上比所述蒸镀材料(1)的填充面(1a)高且比坩埚(2)的开口位置低的位置设置坩埚承载部(5)，利用设于所述收纳体(4)的内侧的坩埚支持部(6)支承所述坩埚承载部(5)，能够在所述坩埚(2)的外底面与所述收纳体(4)的内底面分开的状态下，将所述坩埚(2)收纳并配置于所述收纳体(4)内。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 | ||
【主权项】：
一种蒸发源，其包含如下部分：坩埚，其中可填充蒸镀材料；加热部，其被设成包围该坩埚；和收纳体，其收纳并配置所述坩埚和所述加热部，其特征在于，该蒸发源构成为，在所述坩埚的外侧面上比所述蒸镀材料的填充面高且比坩埚的开口位置低的位置设置坩埚承载部，利用在所述收纳体的内侧设置的坩埚支承部支承所述坩埚承载部，从而能够在所述坩埚的外底面与所述收纳体的内底面分开的状态下将所述坩埚收纳并配置于所述收纳体内，所述坩埚承载部和所述坩埚支承部的接触点设成比所述加热部更靠坩埚侧。
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