[发明专利]探针单元、基板检查装置以及探针单元制造方法

摘要

本发明目的在于降低制造成本。具备多个探针(11)以及主体部(12)，该主体部(12)具有支承探针(11)的前端部(21)的支承部(41、42)以及支承探针(11)的基端部(23)的支承板(43、44)，各支承板(41～44)构成为能从第一姿势转移至第二姿势且能维持该状态，所述第一姿势中各支承板(41～44)相互抵接并相堆叠，以使得各支承孔(51～54)的各开口面沿着垂直方向在假想直线上相对，所述第二姿势中支承板(41、42)相抵接且支承板(42、43)相隔开，并且支承孔(52～54)的各开口面沿着倾斜方向在假想直线(A3)上相对，探针(11)维持在如下状态在被第二姿势的各支承板(41～44)支承的状态下、前端部(21)沿着垂直方向延伸且除去前端部(21)以外的部分沿着倾斜方向延伸。

主权项

一种探针单元，具备多个探针及支承该探针的支承部，所述多个探针用于使其前端部与基板的导体部相接触从而进行电信号的输入输出，所述支承部具备第一支承板、第二支承板以及第三支承板并配置成该各支承板以上述顺序相对并且具备配置在所述第一支承板和所述第二支承板之间的间隔件而构成，所述第一支承板具有第一支承孔且对插通于该第一支承孔的所述前端部进行支承，所述第二支承板具有第二支承孔且对插通于该第二支承孔的所述探针的基端部进行支承，所述第三支承板具有第三支承孔且对插通于该第三支承孔的所述基端部进行支承，所述各支承板以如下姿势固定于所述间隔件，该姿势为：在所述第二支承板及所述第三支承板相抵接或靠近的状态下，所述第一支承板与所述第二支承板相隔开，并且所述第一支承孔、所述第二支承孔及所述第三支承孔的各开口面沿着相对于该各支承板的层叠方向倾斜的倾斜方向在假想直线上相对，所述探针维持在所述前端部沿着所述第一支承孔延伸并且除去该前端部以外的部分沿着所述倾斜方向延伸的状态，所述第一支承板形成有可供第一定位销和第二定位销插通的第一插通孔，所述第二支承板和所述第三支承板分别形成有可供所述第一定位销插通的第二插通孔和可供第三定位销插通的第三插通孔，所述间隔件中，可供所述第二定位销插入的第一插入孔形成于与所述第一支承板相对的面，可供所述第三定位销插入的第二插入孔形成于与所述第二支承板相对的面，所述第一插通孔和所述第二插通孔分别形成在如下位置：当该各支承板相互抵接或靠近而堆叠时该各插通孔的中心轴成为同轴以使得所述第一支承孔、所述第二支承孔及所述第三支承孔的各开口面沿着与所述各支承板垂直的垂直方向在假想直线上相对，所述第一插入孔形成在如下位置：当所述各支承板处于所述姿势时该第一插入孔的中心轴与所述第一插通孔的中心轴成为同轴，所述第三插通孔和所述第二插入孔分别形成在如下位置：当所述各支承板处于所述姿势时该第三插通孔的中心轴与该第二插入孔的中心轴成为同轴。