[发明专利]探针单元、基板检查装置以及探针单元制造方法

权利要求书

1.一种探针单元，具备多个探针及支承该探针的支承部，所述多个探针用于使其前端部与基板的导体部相接触从而进行电信号的输入输出，

所述支承部具备第一支承板、第二支承板以及第三支承板并配置成该各支承板以上述顺序相对并且具备配置在所述第一支承板和所述第二支承板之间的间隔件而构成，所述第一支承板具有第一支承孔且对插通于该第一支承孔的所述前端部进行支承，所述第二支承板具有第二支承孔且对插通于该第二支承孔的所述探针的基端部进行支承，所述第三支承板具有第三支承孔且对插通于该第三支承孔的所述基端部进行支承，

所述各支承板以如下姿势固定于所述间隔件，该姿势为：在所述第二支承板及所述第三支承板相抵接或靠近的状态下，所述第一支承板与所述第二支承板相隔开，并且所述第一支承孔、所述第二支承孔及所述第三支承孔的各开口面沿着相对于该各支承板的层叠方向倾斜的倾斜方向在假想直线上相对，

所述探针维持在所述前端部沿着所述第一支承孔延伸并且除去该前端部以外的部分沿着所述倾斜方向延伸的状态，

所述第一支承板形成有可供第一定位销和第二定位销插通的第一插通孔，

所述第二支承板和所述第三支承板分别形成有可供所述第一定位销插通的第二插通孔和可供第三定位销插通的第三插通孔，

所述间隔件中，可供所述第二定位销插入的第一插入孔形成于与所述第一支承板相对的面，可供所述第三定位销插入的第二插入孔形成于与所述第二支承板相对的面，

所述第一插通孔和所述第二插通孔分别形成在如下位置：当该各支承板相互抵接或靠近而堆叠时该各插通孔的中心轴成为同轴以使得所述第一支承孔、所述第二支承孔及所述第三支承孔的各开口面沿着与所述各支承板垂直的垂直方向在假想直线上相对，

所述第一插入孔形成在如下位置：当所述各支承板处于所述姿势时该第一插入孔的中心轴与所述第一插通孔的中心轴成为同轴，

所述第三插通孔和所述第二插入孔分别形成在如下位置：当所述各支承板处于所述姿势时该第三插通孔的中心轴与该第二插入孔的中心轴成为同轴。

2.如权利要求1所述的探针单元，其特征在于，

所述间隔件形成为包围所述各探针且俯视时呈U字形。

3.一种基板检查装置，其特征在于，

具备权利要求1或2所述的探针单元、以及检查部，所述检查部基于通过与基板的导体部相接触的所述探针单元的所述探针而输入的电信号来检查该基板。

4.一种探针单元制造方法，用于制造探针单元，该探针单元具备多个探针及支承该探针的支承部，所述多个探针用于使其前端部与基板的导体部相接触从而进行电信号的输入输出，其特征在于，

使用所述支承部，所述支承部具备第一支承板、第二支承板以及第三支承板并配置成该各支承板以上述顺序相对并且具备配置在所述第一支承板和所述第二支承板之间的间隔件而构成，所述第一支承板具有第一支承孔且对插通于该第一支承孔的所述前端部进行支承，所述第二支承板具有第二支承孔且对插通于该第二支承孔的所述探针的基端部进行支承，所述第三支承板具有第三支承孔且对插通于该第三支承孔的所述基端部进行支承，

使第一定位销插通到形成于所述第一支承板的第一插通孔和分别形成于所述第二支承板和所述第三支承板的第二插通孔中，维持使所述各支承板相互抵接或靠近而堆叠以使得所述第一支承孔、所述第二支承孔及所述第三支承孔的各开口面沿着与该各支承板垂直的垂直方向在假想直线上相对的状态，在该状态下使所述探针插通于所述各支承孔，之后，

在使所述第二支承板及所述第三支承板相抵接或靠近的状态下使所述第一支承板与所述第二支承板相隔开，拔出所述第一定位销，在所述第一支承板和所述第二支承板之间配置所述间隔件，

将第二定位销插入所述第一插通孔和形成于所述间隔件中与所述第一支承板相对的面上的第一插入孔，并且将第三定位销插入分别形成于所述第二支承板和所述第三支承板的第三插通孔和形成于所述间隔件中与该第二支承板相对的面上的第二插入孔，使该各支承板转移至所述第一支承孔、所述第二支承孔及所述第三支承孔的各开口面沿着相对于该各支承板的层叠方向倾斜的倾斜方向在假想直线上相对的姿势，在转移后的该姿势的状态下将所述各支承板固定于所述间隔件，使所述探针维持在所述前端部沿着所述第一支承孔延伸并且除去该前端部以外的部分沿着所述倾斜方向延伸的状态。

5.如权利要求4所述的探针单元制造方法，其特征在于，

将形成为俯视时呈U字形的所述间隔件配置在所述第一支承板和所述第二支承板之间以使得包围所述各探针。