[发明专利]结构化叠层转印膜和方法有效
申请号: | 201380037772.6 | 申请日: | 2013-06-17 |
公开(公告)号: | CN104471739B | 公开(公告)日: | 2017-03-22 |
发明(设计)人: | 马丁·B·沃克;米奇斯瓦夫·H·马祖雷克;谢尔盖·拉曼斯基;玛格丽特·M·沃格尔-马丁;维维安·W·琼斯;奥勒斯特尔·小本森;迈克尔·本顿·弗里;埃文·L·施瓦茨;兰迪·S·贝;格雷厄姆·M·克拉克 | 申请(专利权)人: | 3M创新有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;B32B37/00 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人: | 丁业平,金小芳 |
地址: | 美国明*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开了将结构化层转印到受体基板的叠层转印膜以及方法。所述转印膜包括具有可剥离表面的载体基板、被施加到所述载体基板的可剥离表面、并且具有非平面结构化表面的牺牲模板层以及被施加到所述牺牲模板层的非平面结构化表面的热稳定的回填层。所述牺牲模板层能够从所述回填层去除(诸如,经由热解),同时基本上完整地保留所述回填层的结构化表面。 | ||
搜索关键词: | 结构 化叠层转印膜 方法 | ||
【主权项】:
一种用于转印嵌入式结构化层的叠层转印膜,所述叠层转印膜包括:载体基板,所述载体基板具有可剥离表面;牺牲可剥离层,所述牺牲可剥离层具有施加到所述载体基板的可剥离表面的第一表面、并且具有与所述第一表面相对的第二表面;顶层,所述顶层被施加到所述牺牲可剥离层的第二表面、并且在所述顶层的与所述牺牲可剥离层相背的一侧上具有非平面结构化表面;以及回填层,所述回填层被施加到所述顶层的非平面结构化表面,从而在所述顶层与所述回填层之间形成结构化界面,其中所述牺牲可剥离层能够从所述顶层去除,同时基本上完整地保留所述回填层和所述顶层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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