[发明专利]脉冲光源以及稳定地控制脉冲激光的相位差的方法有效
| 申请号： | 201380037008.9 | 申请日： | 2013-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN104428963B | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 山下友勇;入泽昭好 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱德万测试 |
| 主分类号： | H01S3/23 | 分类号： | H01S3/23;H01S3/139 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 许静,李家浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的脉冲光源(1)具备主激光器(112)，其输出重复频率被控制成预定值的主激光脉冲；辅激光器(212)，其输出辅激光脉冲；相位比较器(232)，其检测预定值的频率的电信号与基于辅激光脉冲的光强度的电信号的相位差；环路滤波器(234)；加法器(235)，其对环路滤波器(234)的输出相加具有恒定的重复周期的重复频率控制信号；以及相位比较器(306)，其对主激光脉冲与辅激光脉冲的相位差即脉冲间相位差进行测定。辅激光脉冲的重复频率根据加法器(235)的输出而变化。对重复频率控制信号的大小进行控制，以便使测定出的脉冲间相位差与脉冲间相位差的目标值一致。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 光源 以及 稳定 控制 激光 相位差 方法 | ||
【主权项】：
一种脉冲光源，根据两个脉冲激光的相位差，来对重复频率控制信号源的重复频率控制信号进行反馈控制，其特征在于，输出所述两个脉冲激光的激光器是：主激光器，其输出重复频率被控制成预定值的主激光脉冲；以及辅激光器，其输出辅激光脉冲，所述脉冲光源具备：相位差检测器，其检测所述预定值的频率的电信号与基于所述辅激光脉冲的光强度的电信号的相位差；环路滤波器，其去除所述相位差检测器的输出的高频成分；加法器，其对所述环路滤波器的输出相加从所述重复频率控制信号源输出且具有恒定的重复周期的重复频率控制信号；脉冲间相位差检测器，其对所述主激光脉冲与所述辅激光脉冲的相位差即脉冲间相位差进行测定；以及误差检测部，其检测所述脉冲间相位差的目标值与所述脉冲间相位差检测器的输出之间的差，并将该差提供给所述重复频率控制信号源，所述辅激光脉冲的重复频率根据所述加法器的输出而变化，对所述重复频率控制信号的大小进行控制，以便使测定出的所述脉冲间相位差与所述脉冲间相位差的目标值一致。
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