[发明专利]用于层状加热器的复合衬底

摘要

一种形成供使用于半导体制程的加热设备的方法，其包括热固定加热器衬底至应用衬底；以及在加热器衬底固定至应用衬底后，施加层状加热器至加热器衬底。层状加热器的施加包括施加第一电介质层至加热器衬底上，施加电阻加热层至第一电介质层上，以及施加第二电介质层至电阻加热层上。加热器衬底限定材料具有与所述第一电介质层的热膨胀系数和所述电阻加热层的热膨胀系数中至少一个匹配的热膨胀系数。

主权项

一种形成供使用于半导体制程的加热设备的方法，顺序地包括下列步骤：使用结合工艺热固定加热器衬底至应用衬底，所述结合工艺选自由硬钎焊、熔焊、软钎焊、扩散粘结、环氧树脂胶合以及硫化构成的组；在所述加热器衬底固定至所述应用衬底之后，施加层状加热器至所述加热器衬底，所述层状加热器的施加包括：施加第一电介质层至所述加热器衬底上；施加电阻加热层至所述第一电介质层上；以及施加第二电介质层至所述电阻加热层上，其中所述加热器衬底包括具有与所述第一电介质层的热膨胀系数和所述电阻加热层的热膨胀系数中的至少一个匹配的热膨胀系数的材料，其中加热器衬底的材料取决于第一电介质层的材料，而无关应用衬底的材料。