[发明专利]门接口密封的晶片容器在审
申请号: | 201380034747.2 | 申请日: | 2013-05-06 |
公开(公告)号: | CN104620369A | 公开(公告)日: | 2015-05-13 |
发明(设计)人: | 巴里·格里格尔森;马修·A·富勒 | 申请(专利权)人: | 恩特格里公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人: | 王金双 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明解决了工业上对于一种性能更好的和更持久的用于晶片容器的密封结构的需求,通过提供一种弹性密封件,在分离容器的内部和外部方面具有增强的密封性能,具有增强的在槽中密封件的保持特性,并且通过密封件增强凹槽的密封性,以阻止密封件-凹槽啮合处的泄漏,并使在洗涤期间最小化或消除水进入所述凹槽。晶片容器可以是前开口式晶片容器,包括容器部件和门,容器部件和门中的一个具有容易安装的密封件,所述密封件具有多个相对的横向突起,当密封件插入凹槽时,突起从安装方向上偏离相对正常位置偏转,在密封件固定到凹槽中之后,横向突起防止密封件的移除。当门固定到容器部件中时,核心部件和悬臂式指形件啮合门与容器部件的其他部件。密封件上的其他横向突起有效密封所述密封件和凹槽表面的通道。 | ||
搜索关键词: | 接口 密封 晶片 容器 | ||
【主权项】:
一种基片容器,具有容器部件,所述容器部件带有限定开口侧的门框和锁到门框上并关闭开口侧的门,门和门框中的一个具有围绕所述门和门框中的一个的边缘延伸的凹槽,并且密封件安装在所述凹槽中,所述密封件与门和门框中的另一个啮合,从而将门密封到容器部件上,所述密封件具有固定在凹槽底部的基座部件,从基座到所述密封件顶部延伸的核心部件,从核心部件延伸的多个相对的成对的突起用于啮合凹槽的相对的侧壁,至少一对突起的尺寸在与所述至少一对突起相对应的位置上大于所述凹槽,由此所述突起向上倾斜并阻止密封件从凹槽中移除。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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