[发明专利]多单元旋转端末效应器机制有效
申请号: | 201380034660.5 | 申请日: | 2013-05-01 |
公开(公告)号: | CN104396002A | 公开(公告)日: | 2015-03-04 |
发明(设计)人: | 杰森·夏勒;罗伯特·B·宝佩特 | 申请(专利权)人: | 瓦里安半导体设备公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 马雯雯;臧建明 |
地址: | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种旋转式端末效应器被揭示,其用以高速操作工件,其中工件例如为太阳能电池。旋转式端末效应器可无限制地旋转。旋转式端末效应器具有夹具支架,其能够支持多个夹具,夹具可安排成任何配置,例如为4×1的线性阵列。每一夹具和抽吸系统相连通,其中,在一些实施例中,每一夹具可以选择性地启用或停用。也提供多个电性元件,例如为邻近传感器,其被安装在转动的夹具支架。在另一实施例中,使用了具有多个侧面的端末效应器,每一侧面包含多个夹具。 | ||
搜索关键词: | 单元 旋转 效应器 机制 | ||
【主权项】:
一种端末效应器,应用于工件操作系统,其特征在于所述端末效应器包括:多个夹具,每一所述夹具与对应的流体导管相互连通,所述流体导管适于作为抽吸系统的接口;可旋转支架,支撑所述夹具;旋转管套节,包括第一固定部以及旋转部,所述第一固定部包括多个固定连接器,所述旋转部具有相对应数量的旋转连接器,其中每一所述固定连接器和对应的所述旋转连接器经由对应的导管相连通于所述旋转管套节中,其中每一所述旋转连接器附接至对应的流体导管且其中所述旋转部为固定于所述可旋转支架;滑环,包括固定外部部分及旋转内部部分,第一导线连接至所述固定外部部分,第二导线则由所述旋转内部部分伸出,其中所述第一导线和所述第二导线经由所述滑环而相互连通;旋转致动器,配置的位置使得所述滑环位于所述旋转致动器及所述旋转管套节之间;以及轴,耦合所述旋转致动器与所述旋转部,其中所述滑环以及所述旋转管套节各包括内部孔,使所述轴通过所述内部孔。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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