[发明专利]压电器件有效
| 申请号： | 201380029622.0 | 申请日： | 2013-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN104364924B | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 佐久间仁志;仓知克行;会田康弘;前岛和彦;中岛真由美 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;H01L41/08 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种压电器件(100A～100D)，具有第一电极膜(4)、设置在第一电极膜上的压电膜(3)、以及设置在压电膜上的第二电极膜(8)。一对电极膜中的至少一者由合金构成，并且合金的主成分是选自Ti、Al、Mg和Zn中的金属。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 器件 | ||
【主权项】：
1.一种压电器件，其中，包括：第一电极膜；压电膜，其设置在所述第一电极膜上；以及第二电极膜，其设置在所述压电膜上，所述压电膜由(K,Na)NbO3或LiNbO3构成，所述第一电极膜和第二电极膜中的至少一个由合金构成，并且所述合金的主成分是Zn，所述第一电极膜和第二电极膜中的至少一个的杨氏模量小于所述压电膜的杨氏模量。
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