[发明专利]压电器件

说明书

一种压电器件(100A～100D)，具有第一电极膜(4)、设置在第一电极膜上的压电膜(3)、以及设置在压电膜上的第二电极膜(8)。一对电极膜中的至少一者由合金构成，并且合金的主成分是选自Ti、Al、Mg和Zn中的金属。

技术领域

本发明涉及压电器件。

背景技术

以往，如专利文献1或2中所公开的，已知的有具有压电膜和位于该压电膜的两侧的一对电极膜的压电器件。已知的电极膜材料是贵金属诸如Au、Pt和Ir。

引文列表

专利文献

专利文献1：日本特开2010-103194号公报

专利文献2：日本特开2006-286911号公报

发明内容

所要解决的技术问题

然而，要求进一步减少压电器件的成本。本发明是鉴于该问题而完成的并且提供一种能够进一步减少成本的压电器件。

解决技术问题的手段

根据本发明的压电器件包括第一电极膜、设置在第一电极膜上的压电膜、以及设置在压电膜上的第二电极膜。一对电极膜的至少一个由合金构成，并且合金的主成分是选自Ti、Al、Mg和Zn中的金属。

(Ti合金)

合金优选是含有Ti作为主成分的合金。更优选地，合金的主成分是Ti并且合金含有Al作为副成分。此外，合金优选是含有90～96原子％(以下at％)的Ti和4～10at％的Al的合金。

另一种优选的配置是：合金的主成分是Ti，并且合金含有Al和V 作为副成分。在这种情况下，合金优选是含有90～96at％的Ti、2～7at％的Al和2～5at％的V的合金。

(Mg合金)

前述合金优选是含有Mg作为主成分的合金。更优选地，合金的主成分为Mg并且合金含有Al作为副成分。此外，合金优选是含有 92～98at％的Mg和2～8at％的Al的合金。

(Al合金)

前述合金优选是含有Al作为主成分的合金。更优选地，合金的主成分是Al并且合金含有选自Cu、Mg和Mn中的元素作为副成分。此外，合金优选是含有90～99at％的Al和1～6at％的选自Cu、Mg和Mn 中的元素的合金。

(Zn合金)

前述合金优选是含有Zn作为主成分的合金。更优选地，合金的主成分是Zn并且合金含有Al作为副成分。合金优选是含有80～92at％的 Zn和8～20at％的Al的合金。

一对电极膜优选具有非取向或非结晶的结构。压电膜优选具有择优取向结构。

在本发明中，“择优取向结构”是指的在X射线衍射测量中，归属于某个晶格面的峰的强度不低于所有峰的总强度的50％的结构。“非取向结构”是指在X射线衍射测量中，归属于任何晶格面的峰的强度低于所有峰的总强度的50％的结构。“非结晶结构”是指在X射线衍射测量中，没有观察到归属于晶格面的峰。

本发明中的电极膜可以含有除了上述元素之外的金属元素，并且还可以含有除了金属之外的元素。

在本发明中，形成一对电极膜的每种金属元素的氧化还原电位优选高于形成压电膜的每种金属元素的氧化还原电位。这使得压电膜在不被电极膜还原的情况下化学稳定和电稳定，由此进一步提高压电器件的寿命和可靠性。

压电膜的一个主面可以与第一电极膜接触，并且压电膜的另一个主面可以与第二电极膜接触(参考图1中的(b))。