[发明专利]具有被配置为使用辐射偏转进行原位测量的沉积腔室的沉积系统及相关方法

摘要

本发明涉及用于沉积系统(100)的沉积腔室(102)，其包括含有透明材料的腔室壁(112)。该腔室壁可包括外部测量窗口(122)和内部测量窗口，外部测量窗口(122)由腔室壁的外部主表面延伸出并至少部分由该外部主表面包围，内部测量窗口由腔室壁的内部主表面延伸出并至少部分由该内部主表面包围。窗口表面可与主表面成一定角度定向。沉积系统包括此种腔室。本发明还涉及包括形成此种沉积腔室的方法。所述沉积系统和腔室可用于进行原位测量。

主权项

一种用于沉积系统的沉积腔室，所述沉积腔室包括：至少一个腔室壁，所述腔室壁包含对至少一定波长范围内的电磁辐射至少基本上透明的透明材料，所述至少一个腔室壁包括：外部主表面；内部主表面，所述内部主表面与所述外部主表面至少基本上平行定向；外部窗口表面，所述外部窗口表面由所述外部主表面延伸出并至少部分由所述外部主表面包围，所述外部窗口表面与所述外部主表面成一定角度定向；和内部窗口表面，所述内部窗口表面由所述内部主表面延伸出并至少部分由所述内部主表面包围，所述内部窗口表面与所述内部主表面成一定角度定向，所述内部窗口表面的至少一部分与所述外部窗口表面的至少一部分沿与所述外部主表面和所述内部主表面垂直的轴对齐。