[发明专利]树脂容器用涂敷装置

摘要

本发明提供能够对多个树脂容器一并形成具有同等品质的膜的树脂容器用涂敷装置。树脂容器用涂敷装置具有腔室（40），存放多个树脂容器（B），并为外部电极；多个内部电极（50），形成有引导原料气体的气体导通部（51），并分别插入到在腔室（40）存放的多个树脂容器（B）的内部；气体供给部（70），向腔室（40）供给原料气体，气体供给部（70）具有原料气体供给路径（P1）和从原料气体供给路径（P1）分支并分别与多个内部电极（50）的气体导通部（51）相连通的多个气体分支路径（P2），在原料气体供给路径（P1）上设置有调整原料气体的流量的质量流量控制器（74），在多个气体分支路径（P2）上分别设置有调整原料气体的流量的流量调整阀（78）。

主权项

一种树脂容器用涂敷装置，其特征在于，具有：腔室，将至少四个以上的树脂容器分别存放在并列在直线上的独立的各存放室，并且为外部电极；至少四个以上的内部电极，被电气接地并且形成为筒状，在内周部形成有引导原料气体的气体导通部，分别插入到在所述腔室的各存放室存放的各所述树脂容器的内部；和气体供给部，向所述腔室供给原料气体，所述气体供给部具有：原料气体供给路径，与贮存原料气体的原料的原料贮存部相连通；至少四个以上的气体分支路径，从该原料气体供给路分支，并分别与至少四个以上的所述内部电极的气体导通部相连通，经由所述原料气体供给路径、各所述气体分支路径和各所述内部电极的气体导通部分别向在所述腔室存放的各所述树脂容器的内部供给原料气体，在所述原料气体供给路径上设置有控制并管理原料气体的流量的质量流量控制器，在各所述气体分支路径上分别设置有为了调整流入到所述树脂容器的各自的内部的原料气体的流量的平衡而能够调整闭合度的流量调整阀，通过基于示出形成于树脂容器的成膜品质和流量调整阀的闭合度的关系的试验结果预先调整所述流量调整阀的各自的闭合度，从而调整发生在设置于所述腔室的各存放室内的高频电力的分布的偏差对所述树脂容器的各自的成膜品质的影响。