[发明专利]树脂容器用涂敷装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种在腔室内配置多个树脂容器并能够对多个树脂容器一并成膜的树脂容器用涂敷装置。

背景技术

被广泛使用在家庭用品等中的聚乙烯等树脂一般具有使氧气、二氧化碳等低分子气体透过的性质，还具有使低分子有机化合物吸附在其内部的性质。因此，在将树脂作为容器使用时，与玻璃等其他容器相比，周知的是因其使用对象和使用形式等而受到各种制约。例如，在向树脂容器填充碳酸饮料水进行使用时，存在该碳酸通过容器透过到外部而难以长时间保持作为碳酸饮料水的品质的情形。

因此，在制造树脂容器时，为了消除树脂容器中的由低分子气体的透过、以及低分子有机化合物的吸附导致的不良情况，周知的是使用等离子体CVD成膜技术在该树脂容器的内部表面等形成DLC（Diamond Like Carbon：类金刚石碳）涂层等（例如，参照专利文献1）。另外，根据近年来的生产高效化的要求，还周知的是对多个树脂容器一并形成该种涂层的装置（例如，参照专利文献2）。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国专利第2788412号

专利文献2：日本国专利第4567442号。

发明内容

发明要解决的问题

但是，本发明人判明：使用如上述专利文献1、2那样的以往的等离子体CVD成膜技术对多个树脂容器一并成膜的结果，树脂容器内侧的所形成的膜的品质出现偏差。导致该偏差的主要原因是腔室的内部空间中的高频电力的不均匀分配。但是，要将高频电力的分配调整均匀，需要变更腔室的形状、电极的顶端形状以及配置等，结构变复杂，有可能导致制造成本上升。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种能够对多个树脂容器一并形成具有同等品质的膜的树脂容器用涂敷装置。

用于解决问题的手段

本发明的树脂容器用涂敷装置，其特征在于，具有：

腔室，存放多个树脂容器，并为外部电极；

多个内部电极，被电气接地并且形成为筒状，在内周部形成有引导原料气体的气体导通部，分别插入到在所述腔室存放的多个所述树脂容器的内部；

气体供给部，向所述腔室供给原料气体，

所述气体供给部具有：原料气体供给路径，与贮存原料气体的原料的原料贮存部相连通；多个气体分支路径，从该原料气体供给路径分支，分别与多个所述内部电极的气体导通部相连通，

经由所述原料气体供给路径和多个所述气体分支路径以及多个所述内部电极的气体导通部分别向在所述腔室存放的多个所述树脂容器的内部供给原料气体，

在所述原料气体供给路径上设置有调整原料气体的流量的第一流量调整部，在多个所述气体分支路径上分别设置有调整原料气体的流量的第二流量调整部。

另外，优选所述腔室具有在直线上分别独立地存放多个所述树脂容器的多个存放室。

另外，优选所述第二流量调整部由流量调整阀构成。

发明效果

根据本发明的树脂容器用涂敷装置，在所述原料气体供给路径上设置有调整原料气体的流量的第一流量调整部，进而在多个所述气体分支部上分别设置有调整原料气体的流量的第二流量调整部。因此，通过第二流量调整部对向各树脂容器的内部供给的原料气体的流量进行调整，从而即使不变更腔室的形状、电极的顶端形状以及配置等，也能够对多个树脂容器一并形成具有同等品质的膜。

附图说明

图1是说明本发明的树脂容器用涂敷装置的实施方式的主视剖视图。

图2是图1所示的树脂容器用涂敷装置的侧剖视图。

图3是图1所示的腔室的主要部分放大剖视图。

图4是图1所示的气体供给部的分流部的俯视图。

图5是说明图1所示的涂敷装置的管道结构的示意图。

图6是表示腔室的每个存放室的成膜评价试验结果的曲线图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的树脂容器用涂敷装置的一个实施方式进行说明。

本实施方式的树脂容器用涂敷装置（以下仅称为“涂敷装置”）是在腔室内存放多个树脂容器，并使用等离子体CVD技术在其内部表面等一并形成由硅化合物的气体等构成的膜的装置。作为树脂容器，例如能够举出碳酸饮料和果汁等饮料水用的瓶、化妆水或药品用的容器，但并不限于此，也可以是用于其他用途的树脂容器。