[发明专利]具有质量偏置装置的集成压电谐振器有效
| 申请号： | 201380025921.7 | 申请日： | 2013-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN104321892B | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | B·N·伯吉斯;W·R·克莱尼克;S·M·雅各布森 | 申请（专利权）人： | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H03H9/13 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种集成谐振器设备(100)，包括压电谐振器(120、124、128)和邻近压电谐振器形成的声学布拉格反射器(149)。集成谐振器设备还包括形成在布拉格反射器(149)上方的质量偏置装置(170)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 质量 偏置 装置 集成 压电 谐振器 | ||
【主权项】：
1.一种集成谐振器设备，其包括：压电谐振器；声学布拉格反射器，其邻近所述压电谐振器形成；质量偏置装置，其形成在与所述压电谐振器相对的所述布拉格反射器的一侧上的所述布拉格反射器上方；和用于电气接触所述压电谐振器的多个电气接触垫，其中所述质量偏置装置由与所述电气接触垫相同的材料形成，并且所述质量偏置装置与所述电气接触垫在相同的时间沉积。
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