[发明专利]用于沉积氧化锌涂层的化学气相沉积工艺、用于形成导电玻璃制品的方法以及由此制成的涂覆玻璃制品

摘要

提供了一种用于沉积氧化锌涂层的CVD工艺。所述CVD工艺包括提供移动的玻璃衬底。所述CVD工艺还包括形成烷基锌化合物和惰性气体的气态混合物作为第一料流，在第二料流中提供第一气态无机含氧化合物，并且在第二料流中、在第三料流中或者在第二料流和第三料流两者中提供第二气态无机含氧化合物。另外，所述CVD工艺包括在移动的玻璃衬底的表面上或者在移动的玻璃衬底的表面附近混合所述料流并在移动的玻璃衬底的表面上形成氧化锌涂层。还提供了一种用于形成涂覆玻璃制品的方法。另外，还提供了一种涂覆玻璃制品。

主权项

一种用于沉积氧化锌涂层的化学气相沉积工艺，包括：提供移动的玻璃衬底；形成由烷基锌化合物和惰性气体构成的气态混合物作为第一料流；在第二料流中提供第一气态无机含氧物质；在第二料流中、在第三料流中或者在第二料流和第三料流两者中提供第二气态无机含氧物质；以及在移动的玻璃衬底的表面上或者在移动的玻璃衬底的表面附近混合气态料流，以在移动的玻璃衬底的表面上形成氧化锌涂层，并且在形成氧化锌涂层之前，在玻璃衬底的表面上沉积掺氟氧化锡涂层。