[发明专利]光固化物的制造方法

摘要

提供一种光固化物的制造方法，通过其可改进转印精度并且可获得小的表面粗糙度。所述方法包括以下步骤：将光固化性组合物配置在基板上；使模具与光固化性组合物接触；用光照射光固化性组合物；以及使模具从光固化性组合物脱模。接触在冷凝性气体气氛中进行，冷凝性气体在接触时的温度条件下和在当光固化性组合物侵入基板与模具之间的间隙或模具上设置的凹部时冷凝性气体受到的压力条件下冷凝，并且光固化性组合物包括相对于冷凝性气体的重量变化率为‑1.0％至3.0％的气体溶解抑制剂。

主权项

一种光固化物的制造方法，所述光固化物具有预定图案化形状，所述制造方法的特征在于，其包括以下步骤：将光固化性组合物配置在基板上；使模具与所述光固化性组合物接触；用光照射所述光固化性组合物；以及使所述模具从所述光固化性组合物脱模，其中所述接触在冷凝性气体气氛中进行，所述冷凝性气体在所述接触时的温度条件下和在当所述光固化性组合物侵入所述基板与所述模具之间的间隙或所述模具上设置的凹部时所述冷凝性气体受到的压力条件下冷凝，和所述光固化性组合物包括可聚合单体和气体溶解抑制剂，和所述气体溶解抑制剂暴露于所述冷凝性气体前后的重量变化率为‑1.0％至3.0％，和所述气体溶解抑制剂与所述可聚合单体的相对组合比为0.01重量％以上且99.9重量％以下。