[发明专利]脉冲型CO2激光输出脉冲形状和功率控制

摘要

为了保持由RF提供能量的封闭扩散冷却脉冲型CO2气体放电激光器(160)中的恒定的激光输出脉冲功率，每个激光输出脉冲由更短RF脉冲的串或序列产生。当激光输出脉冲(176)之间的时间变得足够短到使得一个脉冲中的功率可通过前面的脉冲的气体放电加热效应减小时，通过改变序列中的脉冲的持续时间或占空比来改变RF脉冲串(164)中的能量，由此保持激光输出脉冲中的输出脉冲功率恒定。任意序列中的RF脉冲可具有不同持续时间以调整相应激光输出脉冲的时域形状。

主权项

一种操作气体放电激光器的方法，用于提供激光输出脉冲形式的激光器输出，激光器包括由射频电源(RFPS)供电的隔开的气体放电电极，其中激光器谐振腔形成在气体放电电极之间，所述方法包括：将第一RF子脉冲串从RFPS传递至气体放电电极以便为激光器谐振腔提供能量，所述串中的每个子脉冲包括多个RF能量周期，第一RF子脉冲串中的RF子脉冲在时间上间隔开的时间足够短到使得激光器谐振腔能够以仿佛第一RF子脉冲串是单个RF脉冲的方式响应第一RF子脉冲串，由此激光器谐振腔响应于第一RF子脉冲串的能量提供而传递第一激光输出脉冲；以及在传递第一RF子脉冲串之后，将第二RF子脉冲串从RFPS传递至气体放电电极以便为激光器谐振腔提供能量，第二串中的每个子脉冲包括多个RF能量周期，第二RF子脉冲串中的RF子脉冲在时间上间隔开的时间足够短到使得激光器谐振腔能够以仿佛第二RF子脉冲串是单个RF脉冲的方式响应第二RF子脉冲串，由此在传递第一个单个激光输出脉冲之后，激光器谐振腔响应于第二RF子脉冲串的能量提供而传递第二激光输出脉冲，而且其中第二串中的RF子脉冲的持续时间和数量中的一个被选择成使得第二激光脉冲中的能量更贴近地匹配第一激光脉冲中的能量。