[发明专利]载体衬底和铁电层组成的传感器布置以及用于制造和使用的传感器布置的方法有效
| 申请号： | 201380014440.6 | 申请日： | 2013-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN104321874B | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | R.韦登韦伯 | 申请（专利权）人： | 于利奇研究中心有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/51 | 分类号： | H01L29/51 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 徐予红,刘春元 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及传感器布置，其包括载体衬底以及在载体衬底上布置的铁电层，其中传感器布置具有用于读出铁电层的介电常数的装置。其特征在于，铁电层结晶地布置在载体衬底上。公开用于制造传感器布置的方法及传感器布置的使用。 | ||
| 搜索关键词： | 载体 衬底 铁电层 组成 传感器 布置 以及 用于 制造 使用 方法 | ||
【主权项】：
传感器布置，包括载体衬底以及在载体衬底上布置的铁电层，其中所述传感器布置具有用于读出铁电层的介电常数的装置，其特征在于，所述铁电层结晶地布置在所述载体衬底上，以及所述传感器布置被设计成通过测量所导致的铁电材料的介电常数的改变来探测施加在铁电层上的机械力，而且所述铁电层的介电常数无接触地借助于光学测量被读出。
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