[发明专利]载体衬底和铁电层组成的传感器布置以及用于制造和使用的传感器布置的方法

权利要求书

1.传感器布置，包括载体衬底以及在载体衬底上布置的铁电层，其中所述传感器布置具有用于读出铁电层的介电常数的装置，

其特征在于，

所述铁电层结晶地布置在所述载体衬底上，以及

所述传感器布置被设计成通过测量所导致的铁电材料的介电常数的改变来探测施加在铁电层上的机械力，而且所述铁电层的介电常数无接触地借助于光学测量被读出。

2.如权利要求1所述的传感器布置，其特征在于柔性载体衬底。

3.如权利要求1所述的传感器布置，其特征在于硅或Al₂O₃，或聚酰亚胺或金属作为所述载体衬底的材料。

4.如权利要求3所述传感器布置，其特征在于

由CaTiO₃，SrTiO₃，KTaO₃，BaTiO₃，Pb₅GeO₁₁，Eu₂(MoO₄)₃，PbTa₂O₆，KNbO₃，SrTeO₃，PbTiO₃，SrBi₂Ta₂O₉，LiTaO₃，LiNbO₃或这些材料的组合制成的铁电材料。

5.如权利要求1-4中任一项所述的传感器布置，其特征在于，

由具有低于室内温度的转变温度的材料制成的铁电层布置在所述载体衬底上，使得压力作用在铁电层的晶格上成为拉应力。

6.如权利要求1-4中任一项所述的传感器布置，其特征在于，

由具有大于室内温度的转变温度的铁电材料布置在载体衬底上，使得压力作用在铁电层的晶格上作为压应力。

7.如权利要求1-4中任一项所述的传感器布置，其特征在于，

具有大于室内温度的转变温度的铁电材料布置在载体衬底的一侧上并且具有小于室内温度的转变温度的铁电材料布置在载体衬底的相对侧上。

8.用于制造如权利要求1-7中任一项所述的传感器布置的方法，

其特征在于，

铁电材料结晶地通过物理气相沉积，化学气相沉积，通过溶液的化学沉积或电泳沉积布置在载体衬底上。

9.如权利要求1-7中任一项所述的传感器布置的作为压力或弯曲传感器的使用，其中垂直在传感器布置上施加的机械力可逆地导致铁电层中极化性的改变，并且在力的衰减之后铁电层的极化性重新转变到输出状态。

10.如权利要求9所述的使用，其特征在于

在铁电层的转变温度的情况下测量压力。