[发明专利]带电粒子束显微镜、带电粒子束显微镜用样品支座以及带电粒子束显微方法有效
| 申请号： | 201380006106.6 | 申请日： | 2013-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN104067369B | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 常田瑠璃子;菊池秀树;鹿岛秀夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/26 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 赵琳琳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供能拍摄观察区域的绕x轴‑180°至+180°的旋转系列像以及绕y轴‑180°至+180°的旋转系列像的装置。其特征在于，具有：样品安放台，其在前端部具有安放样品的安放部；旋转夹具，其具有保持所述样品安放台的安放台保持部；样品保持棒，其具有保持所述旋转夹具的保持部；第1旋转控制部，其以所述保持棒的延伸方向为轴来对所述样品保持棒赋予‑180°至+180°的第1旋转；以及第2旋转控制部，其以与所述第1旋转的旋转轴正交的方向为轴来对所述旋转夹具赋予±45度以上的第2旋转，所述样品安放台为圆锥状或多角锥状的形状。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 显微镜 样品 支座 以及 显微 方法 | ||
【主权项】：
一种带电粒子束显微镜用样品支座，其特征在于，具有：样品安放台，其在前端部具有安放样品的安放部；旋转夹具，其具有保持所述样品安放台的安放台保持部；样品保持棒，其具有保持所述旋转夹具的保持部；第1旋转控制部，其以所述样品保持棒的延伸方向为轴来对所述样品保持棒赋予‑180°至+180°的第1旋转；以及第2旋转控制部，其以与所述第1旋转的旋转轴正交的方向为轴来对所述旋转夹具赋予±45度以上的第2旋转，所述样品安放台为圆锥状或多角锥状的形状，所述样品保持棒具有：旋转夹具移动部，其使所述旋转夹具在与所述第1旋转的旋转轴以及第2旋转的旋转轴同时正交的轴的方向上移动。
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