[发明专利]带电粒子束显微镜、带电粒子束显微镜用样品支座以及带电粒子束显微方法

说明书

技术领域

本发明涉及使用带电粒子束来对样品的电磁场构造进行解析的显微镜以及方法。

背景技术

作为从透射电子显微镜像中三维地解析样品的电磁场构造的技术，有非专利文献1所记载的矢量场层析X射线照相术。记载有：为了重构矢量分量、即分配给各像素的正交3分量(x，y，z)，需要观察区域的绕x轴任意角度即-180°至+180°的旋转系列像、以及绕y轴任意角度即-180°至+180°的旋转系列像。另外，作为与本领域关联的技术，列举以下的公报及其记载之处。

首先，在专利文献1(日本特表2004-508661号公报)中有如下记载。“具有：样品支座，其具备样品托架12，该样品托架12具有构成为支撑要分析的样品13的样品格网14；移行机构16，其在样品13的平面上，在样品支座内使样品托架12旋转；使样品托架12倾斜的机构；以及低温遮挡件，其能在低温移动中保护样品，而且从覆盖样品的第1位置向后退位置移动。”(参照图1以及[0012])。而且，还记载有：“第1集合的数据，对样品13进行第1方向定向，而且使样品托架12大致倾斜±70°而被采取。而且，样品13使用运动移行机构16而在样品13的平面上优选被旋转90°，而且第2集合的倾斜数据大致通过±70°而被采取。”(参照[0015])。

接下来，在专利文献2(日本特开2007-188905号公报)中有如下记载。“在样品支座8，设置有：与前端连结的支座轴31自身进行旋转的机构、以及锥齿轮32和38。支座8前端部整体可绕轴进行360°旋转。在样品旋转轴33的前端，装备有锥齿轮32。另外，由于锥齿轮32与锥齿轮38以啮合的方式相接触，因此通过使样品旋转轴33动作，从而能使锥齿轮38进行360°旋转。样品台35安装于锥齿轮38上的固定台39。微小样品片36安放于样品台35的前端。”(参照图7以及[0019])。另外，还记载有：“将支座8插入透射电子显微镜1样品室，使电子束17从样品台35的侧面入射。即，使电子束17从与纸面垂直的方向入射来观察透射像。此时，通过使样品旋转轴33移动，从而锥齿轮34旋转，能从样品36的周围360°的方向进行观察。”(参照图5以及[0016])。

另外，在专利文献3(日本特开2001-256912号公报)中有如下记载。“在样品支座1的前端部，设置有：球体5、在球体5的中心被贯通而固定的样品保持棒6、具有保持球体5的球面座的旋转内筒3；以及进行球体5的倾斜操作的倾斜用杆4，且前端部被插入至电子显微镜的电子透镜11之间。样品7保持于样品保持棒6的电子束12侧。在样品保持棒6的一端推压倾斜用杆4的前端的斜面来操作Z轴和Y轴的倾斜，使倾斜用杆4退避，并在给定的倾斜方向上使斜面旋转至给定的倾斜角，再次推压来变更倾斜方向。”(参照图1以及[说明书摘要]的[用于解决问题的手段])。另外，还记载有：“在样品支座1的大气侧，设置有：具备Eucentric式移动机构的侧入式样品移动装置的两个旋转驱动机构和一个线性驱动机构。其中，一个旋转驱动机构用于360度的X轴的旋转Θx(西塔x)，与旋转内筒3连接。另外，另一个旋转驱动机构和线性驱动机构用于Z轴、Y轴的倾斜操作Θz(西塔z)、Θy(西塔y)，与设置于旋转内筒3的内部的倾斜用杆4连接。”(参照[0013])。

而且，在专利文献4(日本特开平8-304243号公报)中有如下的记载。“在样品固定棒11的前端部设置有环16和圆板17。环16如图5(b)的箭头K所示，能绕与样品固定棒11的轴线正交的轴线倾斜动作，在样品固定棒11的前端部以二点进行支撑，如图所示，能相对于以样品固定棒11的轴线为X轴的情况下的包含X轴在内的面倾斜至90度。另外，圆板17经由旋转机构而被安装于环16，能在环16的端面内进行360度的旋转。”(参照图5以及[0023])。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2004-508661号公报

专利文献2：日本特开2007-188905号公报

专利文献3：日本特开2001-256912号公报

专利文献4：日本特开平8-304243号公报

专利文献5：日本特开2010-198985号公报

专利文献6：日本专利第3547143号公报

专利文献7：日本特开2009-110734号公报

非专利文献