[发明专利]带电粒子束显微镜、带电粒子束显微镜用样品支座以及带电粒子束显微方法

权利要求书

1.一种带电粒子束显微镜用样品支座，其特征在于，具有：

样品安放台，其在前端部具有安放样品的安放部；

旋转夹具，其具有保持所述样品安放台的安放台保持部；

样品保持棒，其具有保持所述旋转夹具的保持部；

第1旋转控制部，其以所述保持棒的延伸方向为轴来对所述样品保持棒赋予-180°至+180°的第1旋转；以及

第2旋转控制部，其以与所述第1旋转的旋转轴正交的方向为轴来对所述旋转夹具赋予±45度以上的第2旋转，

所述样品安放台为圆锥状或多角锥状的形状。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束显微镜用样品支座，其特征在于，

所述样品保持棒具有：旋转夹具移动部，其使所述旋转夹具在与所述第1旋转轴以及第2旋转的旋转轴分别正交的轴的方向上移动。

3.根据权利要求2所述的带电粒子束显微镜用样品支座，其特征在于，

所述旋转夹具移动部具有确定所述样品保持棒和所述旋转夹具的位置的滑动槽，

沿着所述滑动槽，使所述旋转夹具在所述分别正交的轴的方向上滑动。

4.根据权利要求1所述的带电粒子束显微镜用样品支座，其特征在于，

所述样品安放台的所述圆锥状的前端角度或所述多角锥状的前端角度为45度以内。

5.根据权利要求1所述的带电粒子束显微镜用样品支座，其特征在于，

所述旋转夹具和所述第2旋转控制部以线缆进行连接，

所述第2旋转控制部通过移动与所述第2旋转控制部连接的所述线缆，由此来进行所述第2旋转的控制。

6.根据权利要求1所述的带电粒子束显微镜用样品支座，其特征在于，

所述旋转夹具具有以所述第2旋转的旋转轴进行旋转的第1齿轮部，

所述带电粒子束显微镜用样品支座具有与所述第1齿轮连接的第2齿轮部，

所述第2旋转控制部使所述第2齿轮部旋转，以进行所述第1齿轮的旋转动作，由此来进行所述第2旋转的控制。

7.一种带电粒子束显微镜，其特征在于，具有：

照射光学系统，其对样品照射带电粒子束；以及

样品支座，其设定样品相对于所述带电粒子束的位置和角度，

所述样品支座具有：

样品安放台，其在前端部具有安放所述样品的安放部；

旋转夹具，其具有保持所述样品安放台的安放台保持部；

样品保持棒，其具有保持所述旋转夹具的保持部；

第1旋转控制部，其以与所述带电粒子束的照射轴正交的方向为轴来对所述样品保持棒赋予-180°至+180°的第1旋转；以及

第2旋转控制部，其以与所述带电粒子束的照射轴平行的方向为轴来对所述旋转夹具赋予±45度以上的第2旋转，

所述样品安放台为圆锥状或多角锥状的形状。

8.根据权利要求7所述的带电粒子束显微镜，其特征在于，

所述样品保持棒具有：旋转夹具移动部，其使所述旋转夹具在与所述第1旋转轴以及所述第2旋转轴分别正交的轴的方向上移动。

9.根据权利要求8所述的带电粒子束显微镜，其特征在于，

所述旋转夹具移动部具有确定所述样品保持棒和所述旋转夹具的位置的滑动槽，

沿着所述滑动槽，使所述旋转夹具在所述分别正交的轴的方向上滑动。

10.根据权利要求7所述的带电粒子束显微镜，其特征在于，

所述样品安放台的所述圆锥状的前端角度或所述多角锥状的前端角度为45度以内。

11.根据权利要求7所述的带电粒子束显微镜，其特征在于，

所述旋转夹具和所述第2旋转控制部以线缆进行连接，

所述第2旋转控制部通过移动与所述第2旋转控制部连接的所述线缆，由此来进行所述第2旋转的控制。

12.根据权利要求7所述的带电粒子束显微镜，其特征在于，

所述旋转夹具具有以所述第2旋转的旋转轴进行旋转的第1齿轮部，

所述带电粒子束显微镜用样品支座具有与所述第1齿轮连接的第2齿轮部，

所述第2旋转控制部使所述第2齿轮部旋转，以进行所述第1齿轮的旋转动作，由此来进行所述第2旋转的控制。