[实用新型]基于封装热压头的精确移动装置有效
申请号: | 201320887072.3 | 申请日: | 2013-12-31 |
公开(公告)号: | CN203659830U | 公开(公告)日: | 2014-06-18 |
发明(设计)人: | 李先胜 | 申请(专利权)人: | 深圳市鑫三力自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;G02F1/1333 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开一种基于封装热压头的精确移动装置,包括电机驱动机构、气缸驱动机构和控制模块,其中所述电机驱动机构包括固定在支架上的步进电机,该步进电机输出轴通过轴联器与丝杆连接,在该丝杆上设有与支架滑动连接的丝杆套;所述气缸驱动机构包括与支架滑动配合的气缸座,该气缸座一端设有气缸,另一端设有热压头,所述气缸的输出端与丝杆套连接。工作时,在控制模块的控制下由气缸将热压头向下移动较多的行程,当热压头移动到适应位置时,由步进电机通过丝杆将与丝杆套连接的气缸驱动机构向压合方向做适应的微调,使得热压头能恰好能进行接合操作。可以提高接合作业时接合压力精确控制,降低压合面变形的现象出现。 | ||
搜索关键词: | 基于 封装 压头 精确 移动 装置 | ||
【主权项】:
基于封装热压头的精确移动装置,其特征在于:包括电机驱动机构和与该电机驱动机构连接的气缸驱动机构,以及控制电机驱动机构和气缸驱动机构协调工作的控制模块,其中所述电机驱动机构包括固定在支架上的步进电机,该步进电机输出轴通过轴联器与丝杆连接,在该丝杆上设有与支架滑动连接的丝杆套;所述气缸驱动机构包括与支架滑动配合的气缸座,该气缸座一端设有气缸,另一端设有热压头,所述气缸的输出端与丝杆套连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造