[实用新型]用于真空镀膜机的装载夹具有效
| 申请号： | 201320850595.0 | 申请日： | 2013-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN203754795U | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 程保龙;杨大可;王磊;卜维亮;苟琦 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/50 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于真空镀膜机的装载夹具。该用于真空镀膜机的装载夹具包括多个夹钳，真空镀膜机包括承载基板的基座，基座上设有允许夹钳通过的开口。该用于真空镀膜机的装载夹具还包括与夹钳相连驱动夹钳旋转的驱动装置，驱动装置驱动所述夹钳在水平面上做旋转运动和沿垂直方向做直线运动。使用时，驱动装置驱动夹钳沿与基座所在平面平行的方向旋转运动和沿与基座所在平面垂直的方向直线运动，这样夹钳运动所需要的开口尺寸就较小，由小的开口进入到夹钳与基座之间的颗粒也就较少，夹钳与基座之间的部分镀到薄膜也就较少，从而防止夹钳与基座导通，降低真空镀膜机镀膜时产生异常放电现象的概率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空镀膜 装载 夹具 | ||
【主权项】：
一种用于真空镀膜机的装载夹具，包括多个夹钳，所述真空镀膜机包括承载基板的基座，所述基座上设有允许夹钳通过的开口，其特征在于，所述用于真空镀膜机的装载夹具还包括与夹钳相连驱动夹钳旋转的驱动装置，所述驱动装置驱动所述夹钳在水平面上做旋转运动和沿垂直方向做直线运动。
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