[实用新型]用于真空镀膜机的装载夹具

权利要求书

1.一种用于真空镀膜机的装载夹具，包括多个夹钳，所述真空镀膜机包括承载基板的基座，所述基座上设有允许夹钳通过的开口，其特征在于，所述用于真空镀膜机的装载夹具还包括与夹钳相连驱动夹钳旋转的驱动装置，所述驱动装置驱动所述夹钳在水平面上做旋转运动和沿垂直方向做直线运动。

2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机的装载夹具，其特征在于，所述夹钳在夹持基板的夹持面上设有检测夹持面与基板之间压力的压力传感器。

3.根据权利要求2所述的用于真空镀膜机的装载夹具，其特征在于，所述用于真空镀膜机的装载夹具还包括与所述驱动装置和所述压力传感器相连的驱动控制装置，所述驱动控制装置根据压力传感器检测到的压力控制所述驱动装置工作。

4.根据权利要求3所述的用于真空镀膜机的装载夹具，其特征在于，所述驱动装置为气缸或电机或两者的组合。

5.根据权利要求4所述的用于真空镀膜机的装载夹具，其特征在于，所述驱动装置为气缸和电机，所述电机驱动所述夹钳做旋转运动，所述气缸控制所述夹钳做直线运动。

6.根据权利要求5所述的用于真空镀膜机的装载夹具，其特征在于，所述用于真空镀膜机的装载夹具的每一个夹钳均与一个气缸和一个电机相连。

7.根据权利要求5所述的用于真空镀膜机的装载夹具，其特征在于，所述用于真空镀膜机的装载夹具的每一个夹钳均与一个电机相连，所有电机均固定在一块驱动板上，所述驱动板与一个驱动所述驱动板带着所述电机和所述夹钳做直线运动的气缸相连。

8.根据权利要求1至7中任一权利要求所述的用于真空镀膜机的装载夹具，其特征在于，所述夹钳包括夹持部和与夹持部相连的连接部，所述夹持部用于将基板夹持在基座上，所述连接部与所述驱动装置相连。

9.根据权利要求1至7中任一权利要求所述的用于真空镀膜机的装载夹具，其特征在于，所述多个夹钳在所述基座的四周均匀分布。

10.根据权利要求1至7中任一权利要求所述的用于真空镀膜机的装载夹具，其特征在于，所述夹钳在所述基座底部的数量多于所述夹钳在所述基座顶部的数量。