[实用新型]用于真空镀膜机的装载夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，特别是涉及一种用于真空镀膜机的装载夹具。

背景技术

在显示设备（如液晶显示设备、有机发光显示设备等）的制作过程中，需要在基板（例如，玻璃基板）上制作薄膜晶体管（TFT,thin film transistor），将显示模组进行组装等。在基板上制作薄膜晶体管时大体包括清洗、镀膜、涂光阻胶、曝光、显影、蚀刻、去光阻胶、检测等制程。

在对基板进行镀膜时需要用到真空镀膜机，进行镀膜时需要将基板固定在真空镀膜机上以方便作业。此时一般采用装载夹具将基板固定在真空镀膜机的基座上。之后再进行镀膜作业。

请参考图1和图2，传统的装载夹具包括夹钳110和驱动夹钳110运动的驱动装置。当对放在真空镀膜机的基座310上的基板320进行固定时，夹钳110将如图2中的旋转箭头所示向右旋转实现对基板320的固定。当需要解除夹钳110对基板320的固定时，只需要夹钳沿旋转箭头的指示反方向旋转即可。这样就需要基座310上的开口311的开口尺寸足够大以使夹钳110具有足够大的旋转空间。当开口311的开口尺寸较大时，镀膜时产生的颗粒会通过开口311到达夹钳110与基座310之间。这样会使夹钳110与基座310之间的部分镀到薄膜，最终导致夹钳110与基座310导通，产生异常放电现象。

基于此，有必要提供一种用于真空镀膜机的装载夹具，其能够降低真空镀膜机镀膜时异常放电产生的概率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于真空镀膜机的装载夹具，其能够降低真空镀膜机镀膜时异常放电产生的概率。

一种用于真空镀膜机的装载夹具，包括多个夹钳，所述真空镀膜机包括承载基板的基座，所述基座上设有允许夹钳通过的开口，所述用于真空镀膜机的装载夹具还包括与夹钳相连驱动夹钳旋转的驱动装置，所述驱动装置驱动所述夹钳在水平面上做旋转运动和沿垂直方向做直线运动。

在其中一个实施例中，所述夹钳在夹持基板的夹持面上设有检测夹持面与基板之间压力的压力传感器。

在其中一个实施例中，所述用于真空镀膜机的装载夹具还包括与所述驱动装置和所述压力传感器相连的驱动控制装置，所述驱动控制装置根据压力传感器检测到的压力控制所述驱动装置工作。

在其中一个实施例中，所述驱动装置为气缸或电机或两者的组合。

在其中一个实施例中，所述驱动装置为气缸和电机，所述电机驱动所述夹钳做旋转运动，所述气缸控制所述夹钳做直线运动。

在其中一个实施例中，所述用于真空镀膜机的装载夹具的每一个夹钳均与一个气缸和一个电机相连。

在其中一个实施例中，所述用于真空镀膜机的装载夹具的每一个夹钳均与一个电机相连，所有电机均固定在一块驱动板上，所述驱动板与一个驱动所述驱动板带着所述电机和所述夹钳做直线运动的气缸相连。

在其中一个实施例中，所述夹钳包括夹持部和与夹持部相连的连接部，所述夹持部用于将基板夹持在基座上，所述连接部与所述驱动装置相连。

在其中一个实施例中，所述多个夹钳在所述基座的四周均匀分布。

在其中一个实施例中，所述夹钳在所述基座底部的数量多于所述夹钳在所述基座顶部的数量。

上述用于真空镀膜机的装载夹具的驱动装置驱动夹钳绕与基座所在平面垂直的直线做旋转运动和沿与基座所在平面垂直的直线做直线运动，这样夹钳运动所需要的开口尺寸就较小，由小的开口进入到夹钳与基座之间的颗粒也就较少，夹钳与基座之间的部分镀到薄膜也就较少，从而防止夹钳与基座导通，降低真空镀膜机镀膜时产生异常放电现象的概率。

附图说明

图1为常用真空镀膜机与装载夹具配合示意图；

图2为图1所示真空镀膜机与装载夹具沿A-A线的剖面示意图；

图3为本实用新型真空镀膜机与用于真空镀膜机的装载夹具配合示意图；

图4为图1所示真空镀膜机与用于真空镀膜机的装载夹具沿A-A线的剖面示意图。

具体实施例

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。