[实用新型]改进的基板烘烤设备

摘要

本实用新型公开一种改进的基板烘烤设备，所述基板烘烤设备包括平台、热气产生装置和气体回收装置，所述平台贯穿设置有多个第一排气孔和多个第一吸气孔，所述第一排气孔连接热气产生装置，所述第一吸气孔连接气体回收装置。所述基板烘烤设备还包括加热板，所述加热板设置于平台上方，所述加热板的表面贯穿设有多个第二排气孔和多个第二吸气孔。本实用新型利用气体的流动性，提高在加热环节中对基板加热的均匀性的控制，避免静电释放的产生，改善基板背面受热不均的现象，并且可以保证玻璃基板在平台上的稳定性，改善只有排气造成的玻璃基板不稳定的现象。本实用新型还设计有气体回收装置，可以回收废气，避免环境污染。

主权项

一种改进的基板烘烤设备，其特征在于，所述基板烘烤设备包括平台、热气产生装置和气体回收装置，所述平台贯穿设置有多个第一排气孔和多个第一吸气孔，所述第一排气孔连接所述热气产生装置，所述第一吸气孔连接所述气体回收装置。