[实用新型]用于离子注入机的监控装置和离子注入机系统有效
| 申请号： | 201320794296.X | 申请日： | 2013-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN203562390U | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 徐方明;赖庆宏;丁伯继;金红杰 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/244 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 浦易文 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 离子注入机的监控装置和离子注入机系统，该监控装置包括操作面板和示波器，其中，操作面板包括输入部和输出部；输入部包括信号输入端和波形控制输入端；输出部包括第一频道信号输出端和第二频道信号输出端；示波器包括连接第一频道信号输出端的第一信道和连接第二频道信号输出端的第二信道。采用根据实用新型的监控装置，可以实现精确可靠的监控。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 离子 注入 监控 装置 系统 | ||
【主权项】：
一种用于离子注入机的监控装置，所述监控装置包括操作面板和示波器，其特征在于， 所述操作面板包括输入部和输出部； 所述输入部包括信号输入端和波形控制输入端； 所述输出部包括第一频道信号输出端和第二频道信号输出端； 所述示波器包括连接第一频道信号输出端的第一信道和连接第二频道信号输出端的第二信道。
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