[实用新型]用于离子注入机的监控装置和离子注入机系统

权利要求书

1.一种用于离子注入机的监控装置，所述监控装置包括操作面板和示波器，其特征在于， 

所述操作面板包括输入部和输出部； 

所述输入部包括信号输入端和波形控制输入端； 

所述输出部包括第一频道信号输出端和第二频道信号输出端； 

所述示波器包括连接第一频道信号输出端的第一信道和连接第二频道信号输出端的第二信道。 

2.如权利要求1所述的监控装置，其特征在于，所述示波器为具有X-Y输入模式的通用示波器。 

3.如权利要求1所述的监控装置，其特征在于，所述信号输入端包括输入离子注入机的X+扫描电极板三角波反馈信号的第一端子、输入离子注入机的X-扫描电极板三角波反馈信号第二端子、输入离子注入机的Y+扫描电极板三角波反馈信号的第三端子、输入离子注入机的Y-扫描电极板三角波反馈信号的第四端子和输入离子注入机的剂量控制器的束流模拟信号的第五端子。 

4.如权利要求1所述的监控装置，其特征在于，所述监控装置的所述操作面板包括用1/X、1/Y和X/Y波形进行切换的波形切换开关部，所述波形切换开关部设有所述波形控制输入端。 

5.如权利要求1所述的监控装置，其特征在于，所述波形控制输入端包括分别连接离子注入机中提供波形控制信号的J、H、K信号接头的第一端、第二端和第三端。 

6.如权利要求5所述的监控装置，其特征在于，所述监控装置的所述操作面板包括对所述波形控制输入端的第一端、第二端和第三端进行切换的波形切换开关部，从而使得在1/X、1/Y和X/Y波形间控制切换，当波形切换开关部使J信号接头与K信号接头连通时，1/X波形被输出，当波形切换开关部使H信号接头与K信号接头连通时，1/Y波形被输出，当波形切换开关部使K信号接头同时与J信号接头和H信号接头断开时，X/Y波形被输出。 

7.如权利要求1所述的监控装置，其特征在于，所述监控装置的所述操作面板包括用输入信号进行切换的信号切换开关部，所述开关部从离子注入机的 X+扫描电极板三角波反馈信号、X-扫描电极板三角波反馈信号、Y+扫描电极板三角波反馈信号、Y-扫描电极板三角波反馈信号和离子注入机的剂量控制器的束流模拟信号中作选择切换，并且将所选信号输出到所述第一频道信号输出端和所述第二频道信号输出端。 

8.如权利要求7所述的监控装置，其特征在于，所述监控装置设置成输出到所述第一频道信号输出端的信号能够在X+扫描电极板三角波反馈信号、X-扫描电极板三角波反馈信号、Y+扫描电极板三角波反馈信号和Y-扫描电极板三角波反馈信号中任意切换，输出到所述第二频道信号输出端的信号能够在X-扫描电极板三角波反馈信号、Y+扫描电极板三角波反馈信号、Y-扫描电极板三角波反馈信号和离子注入机的剂量控制器的束流模拟信号中任意切换。