[实用新型]电子束熔炼液态硅除氧的装置

摘要

本实用新型属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种电子束熔炼液态硅除氧的装置，本实用新型打破了传统的除氧模式，首先在中频感应装置中进行待除氧硅料熔化，能够有效降低熔化所需能耗，借用导流槽进行电子束除氧熔炼，由于硅液能够在导流区域内铺散，比表面积增大，因此电子束熔炼效果更好，由于导流区域是向下倾斜的构造，经熔炼提纯后的硅液流入凝固坩埚内，在凝固坩埚内进行堆积，一般选用较大尺寸的凝固坩埚，方便一次电子束熔炼工艺达到更大的单炉产量。本实用新型的优点在于提出了电子束除氧的工艺方法和用途，解决了多晶硅中杂质氧去除的难题，氧含量可以降低于0.0571ppmw以下，满足太阳能电池对多晶硅铸锭含氧量的要求。

主权项

一种电子束熔炼液态硅除氧的装置，包括炉体，其特征在于炉体内设置有中频感应装置，中频感应装置底部安装有与下炉盖通连的翻转机构，中频感应装置一侧设置带有水冷的导流槽，该导流槽自上向下倾斜；位于导流槽上方的炉体顶部通连有电子枪；导流槽的倾泻口下方的炉体内底部设置有凝固坩埚。