[实用新型]电子束熔炼液态硅除氧的装置

权利要求书

1.一种电子束熔炼液态硅除氧的装置，包括炉体，其特征在于炉体内设置有中频感应装置，中频感应装置底部安装有与下炉盖通连的翻转机构，中频感应装置一侧设置带有水冷的导流槽，该导流槽自上向下倾斜；位于导流槽上方的炉体顶部通连有电子枪；导流槽的倾泻口下方的炉体内底部设置有凝固坩埚。

2.根据权利要求1所述的电子束熔炼液态硅除氧的装置，其特征在于中频感应装置包括由内向外的石墨坩埚、感应线圈和保温层。

3.根据权利要求1所述的电子束熔炼液态硅除氧的装置，其特征在于导流槽与水平面之间的倾斜角度为5～15度。

4.根据权利要求1所述的电子束熔炼液态硅除氧的装置，其特征在于凝固坩埚为水冷铜坩埚。