[实用新型]一种真空蒸发镀膜装置有效
| 申请号： | 201320746064.7 | 申请日： | 2013-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN203754797U | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 毛念新;严仲君;黄翔鄂;王新征 | 申请（专利权）人： | 上海嘉森真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 金碎平 |
| 地址： | 201812 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空蒸发镀膜装置，包括真空室，所述真空室内设有蒸发源和基片，所述基片的被镀一面在蒸发源之上，其中，所述基片固定在可水平往复运动的金属板上；所述真空室的顶部开设有冷却气氛入口,所述冷却气氛入口的一侧通过调节阀与冷却气体气源相连接，另一侧伸入真空室并设置有导气装置。本实用新型提供的真空蒸发镀膜装置，将基片固定在可水平往复运动的金属板上，从而保证镀膜的均匀性，有效避免散热不均匀或冷却过快导致基片损坏，提高产品合格率；通过在真空室的顶部开设冷却气氛入口，采用气体冷却的方式，进一步简化真空室内机械结构并能实时监测基片背后的金属板的温度即基片的表面温度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 蒸发 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种真空蒸发镀膜装置，包括真空室(1)，所述真空室(1)内设有蒸发源(2)和基片(3)，所述基片(3)的被镀一面在蒸发源(2)之上，其特征在于，所述基片(3)固定在可水平往复运动的金属板(4)上，所述真空室(1)的顶部开设有冷却气氛入口(5),所述冷却气氛入口(5)的一侧通过调节阀(6)与冷却气体气源相连接，另一侧伸入真空室(1)并设置有导气装置，所述冷却气氛入口(5)的两侧设有分子泵(7)，所述金属板(4)和真空室(1)之间设有柔性挡板(8)，所述柔性挡板(8)分布在分子泵(7)的两侧，所述金属板(4)面对冷却气氛入口(5)一侧的表面上设有散热槽。
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