[实用新型]一种真空蒸发镀膜装置有效
| 申请号： | 201320746064.7 | 申请日： | 2013-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN203754797U | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 毛念新;严仲君;黄翔鄂;王新征 | 申请（专利权）人： | 上海嘉森真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 金碎平 |
| 地址： | 201812 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 蒸发 镀膜 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空蒸发镀膜装置，包括真空室(1)，所述真空室(1)内设有蒸发源(2)和基片(3)，所述基片(3)的被镀一面在蒸发源(2)之上，其特征在于，所述基片(3)固定在可水平往复运动的金属板(4)上，所述真空室(1)的顶部开设有冷却气氛入口(5),所述冷却气氛入口(5)的一侧通过调节阀(6)与冷却气体气源相连接，另一侧伸入真空室(1)并设置有导气装置，所述冷却气氛入口(5)的两侧设有分子泵(7)，所述金属板(4)和真空室(1)之间设有柔性挡板(8)，所述柔性挡板(8)分布在分子泵(7)的两侧，所述金属板(4)面对冷却气氛入口(5)一侧的表面上设有散热槽。
2.如权利要求1所述的真空蒸发镀膜装置，其特征在于，所述冷却气体气源为氩气或氦气。
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