[实用新型]基板的载台装置有效

专利信息
申请号: 201320716836.2 申请日: 2013-11-14
公开(公告)号: CN203588982U 公开(公告)日: 2014-05-07
发明(设计)人: 张家萁 申请(专利权)人: 台湾暹劲股份有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 代理人: 孙皓晨
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 实用新型是一种基板的载台装置,其是在一基座上设有第一承置部件,并在该第一承置部件的侧方滑设有第二承置部件,于该第二承置部件则连接有间距控制结构,以调整第二承置部件与第一承置部件的间距,使第一承置部件与第二承置部件分别架置固定基板的两个侧缘,还在该第一承置部件与第二承置部件间滑设有支撑部件,以供支撑基板的底面,一连杆组连接并枢设于第二承置部件,并在该连杆组的摆动端与支撑部件间连接有导移结构,以连动支撑部件位移,使支撑部件保持于第一承置部件与第二承置部件间的中央位置处;如此,在承载基板时,即可以支撑部件支撑基板底面的中央部分,以确保基板呈平直状态,而达到提升作业品质的实用效益。
搜索关键词: 装置
【主权项】:
一种基板的载台装置,其特征在于,包含有:基座;第一承置部件:设于基座上,该第一承置部件设有第一架置部,以供架置固定基板的一侧缘;第二承置部件:滑设于第一承置部件的侧方,该第二承置部件设有第二架置部,以供架置固定基板的另一侧缘,并设有间距控制结构,以控制该第二承置部件位移,并调整该第二承置部件与第一承置部件的间距;支撑部件:滑设在第一承置部件与第二承置部件之间,该支撑部件设有顶撑部,以供支撑基板的底面;连杆组:连接并枢设于第二承置部件,并在该连杆组的摆动端与支撑部件间连接有导移结构,以连动支撑部件位移,使支撑部件保持于第一承置部件与第二承置部件间的中央位置处。
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