[实用新型]一种激光器光束质量测量装置有效

专利信息
申请号: 201320716791.9 申请日: 2013-11-14
公开(公告)号: CN203551251U 公开(公告)日: 2014-04-16
发明(设计)人: 李玉瑶;罗宽;王菲;田明;车英;杨进华 申请(专利权)人: 长春理工大学
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 130022 *** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 实用新型提供一种激光器光束质量测量装置,该装置包括光强调节器(1)、聚焦光学系统(2)、中性衰减片(3)、图像传感器(4)、调整架(5)、一维运动工作台(6)、控制器(7)和上位机(8)。该装置采用350-1600nm波段超消色差光学系统作为聚焦光学系统,其对工作波段范围内任一波长的焦移小于0.2mm,测量时不需要从软件上再进行重新标定,测量误差小,测量步骤简单。
搜索关键词: 一种 激光器 光束 质量 测量 装置
【主权项】:
 一种激光器光束质量测量装置,其特征在于:该装置包括光强调节器(1)、聚焦光学系统(2)、中性衰减片(3)、图像传感器(4)、调整架(5)、一维运动工作台(6)、控制器(7)和上位机(8);所述的光强调节器(1)、聚焦光学系统(2)、中性衰减片(3)和图像传感器(4)依次设置在同一水平光轴上;所述的光强调节器(1)为两个中性吸收型材料制作的直角光楔构成,此两个光楔斜面和直角面分别平行放置;所述的聚焦光学系统(2)为超消色差光学系统,口径为20~40mm,其光谱工作范围为350~1600nm,焦距为200~400mm;所述的中性衰减片(3)为中性吸收型材料制作的平板;所述的图像传感器(4)优选CCD相机或CMOS相机;所述的调整架(5)为四维调整架;所述的一维运动工作台(6)为电控一维运动工作台;所述的控制器(7)为一种激光器光束质量测量装置的控制中心;所述的上位机(8)为计算机。
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