[实用新型]精确传输高真空机械手臂

摘要

本实用新型涉及一种机械手臂，具体的说是一种精确传输高真空机械手臂。其包括固定支架，固定支架上部连接上支架，下部连接下支架。下支架内设有下轴承，滚珠丝杆安装在下轴承中，滚珠丝杆下部穿过下支架连接升降电机，滚珠丝杆上通过螺纹连接旋转电机支架。旋转电机支架上转动连接主轴，主轴上端连接臂体。在主轴上设有上轴承，上轴承和上支架之间设有滑动密封件。旋转电机支架上固定旋转电机，旋转电机通过齿轮传动机构连接带动主轴转动。本实用新型结构简单、紧凑、合理，能在高真空状态下进行精密传输作业，传动位置精确无误，确保半导体工艺过程中高真空的需求。

主权项

一种精确传输高真空机械手臂，包括固定支架(1)，其特征是：固定支架(1)上部连接上支架(2)，下部连接下支架(3)；下支架（3）内设有下轴承（11），滚珠丝杆（10）安装在下轴承（11）中，滚珠丝杆(10)下部穿过下支架(3)连接升降电机(12),滚珠丝杆(10)上通过螺纹连接旋转电机支架(9)；旋转电机支架（9）上转动连接主轴（13），主轴（13）上端连接臂体（5）；在主轴（13）上设有上轴承（8），上轴承（8）和上支架（2）之间设有滑动密封件（4）；旋转电机支架（9）上固定旋转电机（7），旋转电机（7）通过齿轮传动机构连接带动主轴（13）转动。