[实用新型]精确传输高真空机械手臂

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种机械手臂，具体的说是一种精确传输高真空机械手臂。

背景技术

在半导体制造过程中，晶圆一般是利用传输系统将其从一个工作台搬运到另一个工作台。在特殊的工艺范围内，晶圆需要从大气状态下进入高真空环境中进行工艺处理，此时对反应腔里面真空度以及晶圆位置的精确性有严格要求，若真空度和晶圆传输的位置达不到要求，会产生晶圆的划伤，破片，报废。

通常半导体制造过程中会使用一种真空手臂进行传输，但是由于特殊的工艺腔体对真空及晶圆传输位置要求极高，一般的真空手臂使用0-ring密封，在手臂长时间运动过程中会使O-ring密封很难达到高真空的精确要求,影响了晶圆的良率。

有鉴与此，提供一种不影响腔体工艺真空要求以及精确传输晶圆的机械手臂实为必要。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足之处，从而提供一种精确传输高真空机械手臂，能在高真空状态下进行精密传输作业，传动位置精确无误，确保半导体工艺过程中高真空的需求。

按照本实用新型提供的技术方案，精确传输高真空机械手臂包括固定支架，其特征是：固定支架上部连接上支架，下部连接下支架。下支架内设有下轴承，滚珠丝杆安装在下轴承中，滚珠丝杆下部穿过下支架连接升降电机，滚珠丝杆上通过螺纹连接旋转电机支架。旋转电机支架上转动连接主轴，主轴上端连接臂体；在主轴上设有上轴承，上轴承和上支架之间设有滑动密封件；旋转电机支架上固定旋转电机，旋转电机通过齿轮传动机构连接带动主轴转动。

进一步的，上支架上端固定密封盘。

进一步的，齿轮传动机构包括连接在旋转电机上的主动齿轮和连接在主轴上的从动齿轮，主动齿轮和从动齿轮互相啮合。

本实用新型与已有技术相比具有以下优点：

本实用新型结构简单、紧凑、合理，能在高真空状态下进行精密传输作业，传动位置精确无误，确保半导体工艺过程中高真空的需求。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

附图标记说明：1-固定支架、2-上支架、3-下支架、4-滑动密封件、5-手臂体、6-密封盘、7-旋转电机、8-上轴承、9-旋转电机支架、10-滚珠丝杆、11-下轴承、12-升降电机、13-主轴。

具体实施方式

下面本实用新型将结合附图中的实施例作进一步描述：

如图1所示，本实用新型主要包括固定支架1，固定支架1上部连接上支架2，下部连接下支架3。

下支架3内设有下轴承11，滚珠丝杆10安装在下轴承11中，滚珠丝杆10下部穿过下支架3连接升降电机12。滚珠丝杆10上通过螺纹连接旋转电机支架9。

旋转电机支架9上转动连接主轴13，主轴13上端连接臂体5。在主轴13上设有上轴承8，上轴承8和上支架2之间设有滑动密封件4。

旋转电机支架9上固定旋转电机7，旋转电机7通过齿轮传动机构连接带动主轴13转动。

所述齿轮传动机构包括连接在旋转电机7上的主动齿轮和连接在主轴13上的从动齿轮，主动齿轮和从动齿轮互相啮合。

所述上支架2上端固定密封盘6。

本实用新型结构简单、紧凑、合理，能在高真空状态下进行精密传输作业，传动位置精确无误，确保半导体工艺过程中高真空的需求。