[实用新型]一维面内位移相移电子散斑干涉仪

摘要

本实用新型公开了一种一维面内位移相移电子散斑干涉仪，它包括水平布置的光学平台，该光学平台的台面上布置有：用于固定受检物的测试架、激光发射装置、以及CCD摄像机，所述CCD摄像机与计算机电连接，所述测试架上设置有用于向所述受检物施加荷载的加载装置。本实用新型这种干涉仪具有结构简单、测量精度高、测量速度快的优点。

主权项

一种一维面内位移相移电子散斑干涉仪，其特征在于：它包括水平布置的光学平台（1），该光学平台（1）的台面上布置有：用于固定受检物（5）的测试架（2）、激光发射装置（3）、以及CCD摄像机（4），所述CCD摄像机（4）与计算机电连接，所述测试架（2）上设置有用于向所述受检物施加荷载的加载装置，所述的激光发射装置（3）包括固定在所述光学平台（1）上的壳体（31）、以及设于该壳体（31）内的激光器（32）和分光棱镜（33），所述壳体（31）上面设置有与该壳体（31）内部相连通的第一反射镜套筒（34）和第二反射镜套筒（35），所述第一反射镜套筒（34）中安装有第一反射镜（36），所述第二反射镜套筒（35）中安装有第二反射镜（37），所述分光棱镜（33）接收所述激光器（32）发射的激光束并将该激光束一分为二，由分光棱镜（33）分出的这两条光束分别经过所述第一反射镜（36）和第二反射镜（37）的反射后，射向所述受检物（5）。