[实用新型]一维面内位移相移电子散斑干涉仪

权利要求书

1.一种一维面内位移相移电子散斑干涉仪，其特征在于：它包括水平布置的光学平台（1），该光学平台（1）的台面上布置有：用于固定受检物（5）的测试架（2）、激光发射装置（3）、以及CCD摄像机（4），所述CCD摄像机（4）与计算机电连接，所述测试架（2）上设置有用于向所述受检物施加荷载的加载装置，

所述的激光发射装置（3）包括固定在所述光学平台（1）上的壳体（31）、以及设于该壳体（31）内的激光器（32）和分光棱镜（33），所述壳体（31）上面设置有与该壳体（31）内部相连通的第一反射镜套筒（34）和第二反射镜套筒（35），所述第一反射镜套筒（34）中安装有第一反射镜（36），所述第二反射镜套筒（35）中安装有第二反射镜（37），

所述分光棱镜（33）接收所述激光器（32）发射的激光束并将该激光束一分为二，由分光棱镜（33）分出的这两条光束分别经过所述第一反射镜（36）和第二反射镜（37）的反射后，射向所述受检物（5）。

2.根据权利要求1所述的一维面内位移相移电子散斑干涉仪，其特征在于：所述壳体（31）内安装有两个反射镜（38），由所述分光棱镜（33）分出的两条光束先射向这两个反射镜（38），再由这两个反射镜（38）分别反射到所述第一反射镜（36）和第二反射镜（37）。

3.根据权利要求2所述的一维面内位移相移电子散斑干涉仪，其特征在于：所述反射镜（38）通过一反射镜座（39）可旋转地安装在所述壳体（31）内。

4.根据权利要求1或2或3所述的一维面内位移相移电子散斑干涉仪，其特征在于：所述CCD摄像机（4）固定安装在所述壳体（31）外部。

5.根据权利要求1或2或3所述的一维面内位移相移电子散斑干涉仪，其特征在于：所述光学平台（1）上布置有将所述测试架（2）、激光发射装置（3）、以及CCD摄像机（4）收容在其内的防尘罩。

6.根据权利要求1或2或3所述的一维面内位移相移电子散斑干涉仪，其特征在于：所述激光器（3）为523nm固体绿光激光器。

7.根据权利要求6所述的一维面内位移相移电子散斑干涉仪，其特征在于：所述激光器（3）长30mm，宽50mm，高150mm。

8.根据权利要求1或2或3所述的一维面内位移相移电子散斑干涉仪，其特征在于：所述壳体（31）通过螺钉（7）可拆分地固定在所述光学平台（1）上。

9.根据权利要求1或2或3所述的一维面内位移相移电子散斑干涉仪，其特征在于：所述激光器（32）的激光出射端设有一扩束镜。