[实用新型]低温压力传感器自动校准装置

摘要

本实用新型涉及低温压力传感器自动校准装置，包括压力控制模块、低温环境控制模块以及校准模块；低温环境控制模块包括单极G-M制冷机组、PLC以及低温恒温器；压力控制模块包括氦气瓶、高压气阀、增压系统、进气阀、自动压力控制校验仪以及高压气体管路，氦气瓶通过高压气阀与自动压力控制校验仪的入口连接，自动压力控制校验仪的出口通过进气阀将标准压力源注入至低温恒温器的内腔内；校准模块包括数据采集系统和工控机，工控机控制数据采集系统。本实用新型解决了现有技术中缺少对压力传感器在低温环境下的校准装置的技术问题，本实用新型装置可有效解决低温压力传感器的量值溯源问题。

主权项

一种低温压力传感器自动校准装置，其特征在于：包括压力控制模块、低温环境控制模块以及校准模块； 所述低温环境控制模块包括单极G‑M制冷机组（1）、PLC（8）以及低温恒温器（9），所述单极G‑M制冷机组将冷源注入至低温恒温器（9）的内腔内，所述PLC（8）控制单极G‑M制冷机组（1）和低温恒温器（9）的加热器； 所述压力控制模块包括氦气瓶（7）、高压气阀（6）、增压系统（5）、进气阀（3）、自动压力控制校验仪（11）以及高压气体管路（13），所述氦气瓶（7）通过高压气阀（6）与自动压力控制校验仪（11）的入口连接，所述自动压力控制校验仪（11）的出口通过进气阀将标准压力源注入至低温恒温器（9）的内腔内； 所述校准模块包括数据采集系统（10）和工控机（12），所述工控机（12）控制数据采集系统（10），所述数据采集系统（10）用于采用压力传感器的信号及低温恒温器内、外腔的温度传感器信号，并进行分析处理。