[实用新型]低温压力传感器自动校准装置

权利要求书

1.一种低温压力传感器自动校准装置，其特征在于：包括压力控制模块、低温环境控制模块以及校准模块； 

所述低温环境控制模块包括单极G-M制冷机组（1）、PLC（8）以及低温恒温器（9），所述单极G-M制冷机组将冷源注入至低温恒温器（9）的内腔内，所述PLC（8）控制单极G-M制冷机组（1）和低温恒温器（9）的加热器； 

所述压力控制模块包括氦气瓶（7）、高压气阀（6）、增压系统（5）、进气阀（3）、自动压力控制校验仪（11）以及高压气体管路（13），所述氦气瓶（7）通过高压气阀（6）与自动压力控制校验仪（11）的入口连接，所述自动压力控制校验仪（11）的出口通过进气阀将标准压力源注入至低温恒温器（9）的内腔内； 

所述校准模块包括数据采集系统（10）和工控机（12），所述工控机（12）控制数据采集系统（10），所述数据采集系统（10）用于采用压力传感器的信号及低温恒温器内、外腔的温度传感器信号，并进行分析处理。 

2.根据权利要求1所述的低温压力传感器自动校准装置，其特征在于：所述自动压力控制校验仪（11）采用Mensor生产的CPC8000。 

3.根据权利要求1或2所述的低温压力传感器自动校准装置，其特征在于：所述压力控制模块还包括压力表（2）和排气阀（4），所述压力表（2）设置在与低温恒温器连通的高压气体管路（13）上，所述排气阀（4）与压力表（2）连接。