[实用新型]电子束熔炼与长晶技术耦合制备多晶硅的装置有效
| 申请号： | 201320531110.1 | 申请日： | 2013-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN203440096U | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 谭毅;郭校亮;安广野;姜大川 | 申请（专利权）人： | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266234 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型属于多晶硅铸锭领域，特别涉及一种电子束熔炼与长晶技术耦合制备多晶硅的装置。一种电子束熔炼与长晶技术耦合制备太阳能级多晶硅的装置，炉体内放置有石墨坩埚，石墨坩埚外壁由内向外依次环绕有石墨加热体和石墨保温套，石墨保温套的上石墨盖板可水平移动，且在炉体的一侧与上石墨盖板的平行位置处外接有空心板槽；石墨坩埚底部中心位置安装有水冷拉锭机构；其内置有冷却循环水管；炉体顶部通连安装有电子枪，侧部上端开有充气阀，下端开有放气阀。优点：该装置将电子束熔炼技术与长晶过程有效地耦合在一起，从而实现了在同一设备上实现两种生产工艺的目的，减少了破碎、清洗及烘干环节，总能耗降低超过30%，生产效率能够提高40%左右。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 熔炼 技术 耦合 制备 多晶 装置 | ||
【主权项】：
一种电子束熔炼与长晶技术耦合制备太阳能级多晶硅的装置，其特征在于炉体（5）内放置有石墨坩埚（17），石墨坩埚（17）外壁由内向外依次环绕有石墨加热体（9）和石墨保温套（8），石墨保温套（8）的上石墨盖板（7）可水平移动，且在炉体（5）的一侧与上石墨盖板（7）的平行位置处外接有空心板槽；石墨坩埚（5）底部中心位置安装有水冷拉锭机构（11）；其内置有冷却循环水管（12）；炉体（5）顶部通连安装有电子枪（1），侧部上端开有充气阀（13），下端开有放气阀（10）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛隆盛晶硅科技有限公司，未经青岛隆盛晶硅科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320531110.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：铰链装置
- 下一篇：一种转炉除尘水粗颗粒分离机水封装置
