[实用新型]电子束熔炼与长晶技术耦合制备多晶硅的装置有效
| 申请号： | 201320531110.1 | 申请日： | 2013-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN203440096U | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 谭毅;郭校亮;安广野;姜大川 | 申请（专利权）人： | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266234 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子束 熔炼 技术 耦合 制备 多晶 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种电子束熔炼与长晶技术耦合制备太阳能级多晶硅的装置，其特征在于炉体（5）内放置有石墨坩埚（17），石墨坩埚（17）外壁由内向外依次环绕有石墨加热体（9）和石墨保温套（8），石墨保温套（8）的上石墨盖板（7）可水平移动，且在炉体（5）的一侧与上石墨盖板（7）的平行位置处外接有空心板槽；石墨坩埚（5）底部中心位置安装有水冷拉锭机构（11）；其内置有冷却循环水管（12）；炉体（5）顶部通连安装有电子枪（1），侧部上端开有充气阀（13），下端开有放气阀（10）。
2.根据权利要求1所述的一种电子束熔炼与长晶技术耦合制备太阳能级多晶硅的装置，其特征在于所述石墨坩埚(17)内表面加碳化硅或氮化硅涂层。
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