[实用新型]清洁装置及检测机台有效
| 申请号： | 201320456572.1 | 申请日： | 2013-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN203380147U | 公开（公告）日： | 2014-01-08 |
| 发明（设计）人： | 钱进;苏新香;张贺丰 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种清洁装置及检测机台，清洁装置包括清洁棒、气管以及固定臂；气管的一端设置在清洁棒内；气管的另一端连接供气单元；清洁棒与固定臂连接；清洁棒设有通孔；检测机台使用上述清洁装置；当半导体晶圆放置在对准台进行对准时，即使用清洁装置对所述半导体晶圆表面进行气吹清理，从而减少在半导体晶圆表面颗粒，增加检测结果的准确性，并且由于是在对准台对准时便对半导体晶圆进行清理，不会额外占用清理时间，缩短了检测的时间，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 检测 机台 | ||
【主权项】：
一种清洁装置，用于清理半导体晶圆的表面颗粒，其特征在于，包括：清洁棒、气管以及固定臂；所述气管的一端设置在所述清洁棒内；所述气管的另一端连接一供气单元；所述清洁棒与所述固定臂连接；所述清洁棒设有通孔。
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