[实用新型]一种精细纳米真空镀膜设备故障纳米高分子抽离保护装置

摘要

本实用新型涉及真空纳米镀膜设备。一种精细纳米真空镀膜设备故障纳米高分子抽离保护装置，包括沉积室、冷凝器、真空泵、中央控制器、汽化室、裂解室、装料室，装料室通过管路连接汽化室，汽化室通过管路连接裂解室，汽化室与裂解室之间的管路上设有一控制阀；裂解室通过管路连接真空泵，裂解室与真空泵之间的管路上设有一控制阀；裂解室还通过管路连接沉积室，沉积室通过管路连接冷凝器，冷凝器通过管路连接真空泵。本实用新型防止了因设备故障造成真空压力快速回升，导致被镀物产生白雾现象的功能，防止了被镀物报废的问题。

主权项

一种精细纳米真空镀膜设备故障纳米高分子抽离保护装置，包括沉积室、冷凝器、真空泵、中央控制器、汽化室、裂解室、装料室，其特征在于，所述装料室通过管路连接所述汽化室，所述汽化室通过管路连接所述裂解室，所述汽化室与所述裂解室之间的管路上设有一控制阀；所述裂解室通过管路连接所述真空泵，所述裂解室与所述真空泵之间的管路上设有一控制阀；所述裂解室还通过管路连接所述沉积室，所述沉积室通过管路连接所述冷凝器，所述冷凝器通过管路连接所述真空泵。