[实用新型]一种新型PEVCD上料的石墨舟小推车有效
申请号: | 201320310813.1 | 申请日: | 2013-05-31 |
公开(公告)号: | CN203393224U | 公开(公告)日: | 2014-01-15 |
发明(设计)人: | 柳渊博;李立宏;段盟盟;朱海洋;张素群 | 申请(专利权)人: | 浙江金乐太阳能科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/00 | 分类号: | C23C16/00 |
代理公司: | 余姚德盛专利代理事务所(普通合伙) 33239 | 代理人: | 胡小永 |
地址: | 315201 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种新型PEVCD上料的石墨舟小推车,包括石墨舟存放台面(1)和结构框架(2),所述石墨舟存放台面(1)设在所述结构框架(2)上,所述石墨舟存放台面(1)上一端设有电极孔方向的标记(3),另一端设有定位孔(4),所述石墨舟存放台面(1)上设有若干耐高温层压条(5)。本实用新型操作简便,防止操作人员电极孔上反的情况出现,减少硅片脱落或碎片的产生,降低成本,结构设计合理,具有实用性。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 pevcd 石墨 推车 | ||
【主权项】:
一种新型PEVCD上料的石墨舟小推车,其特征在于:包括石墨舟存放台面(1)和结构框架(2),所述石墨舟存放台面(1)设在所述结构框架(2)上,所述石墨舟存放台面(1)上一端设有电极孔方向的标记(3),另一端设有定位孔(4),所述石墨舟存放台面(1)上设有若干耐高温层压条(5),所述耐高温层压条(5)间隔6cm距离设置,所述结构框架(2)的两侧设有推车扶手(10),所述结构框架(2)的顶部设有转动轴(6),所述转动轴(6)与转动扶手(7)连接,所述转动轴(6)上设有所述石墨舟存放台面(1),所述结构框架(2)的侧面设有手动伸缩汽缸(8),所述手动伸缩汽缸(8)设有伸缩杆(9),所述伸缩杆(9)的顶端设于所述定位孔(4)内。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的