[实用新型]一种新型PEVCD上料的石墨舟小推车有效
申请号: | 201320310813.1 | 申请日: | 2013-05-31 |
公开(公告)号: | CN203393224U | 公开(公告)日: | 2014-01-15 |
发明(设计)人: | 柳渊博;李立宏;段盟盟;朱海洋;张素群 | 申请(专利权)人: | 浙江金乐太阳能科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/00 | 分类号: | C23C16/00 |
代理公司: | 余姚德盛专利代理事务所(普通合伙) 33239 | 代理人: | 胡小永 |
地址: | 315201 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 pevcd 石墨 推车 | ||
技术领域
本实用新型涉及PECVD设备技术领域,具体涉及一种新型PEVCD上料的石墨舟小推车。
背景技术
PECVD上料的石墨舟小推车是光伏太阳能行业中常用的设备,被人们广泛使用。但是现有的PECVD上料的石墨舟小推车由于石墨舟存放台面上一端没有设有电极孔方向的标记,操作人员容易把电极孔上反,从而对设备造成一定的损坏;此外,现有的PECVD上料的石墨舟小推车,石墨舟和石墨舟存放台面有大约2cm的高度,且没有设有若干耐高温层压条,在上下料硅片掉落后很容易会造成硅脱或者碎片,造成报废率升高,从而提高了生产成本;另外,现有的PEVCD上料的石墨舟小推车没有设有定位孔,容易会形成脱舟现象,导致石墨舟碎裂,并产生大量碎片,严重影响生产。现有市场上流行的PEVCD上料的石墨舟小推车操作麻烦,容易出现操作人员电极孔上反的情况,硅片脱落或碎片的现象频繁,结构设计不合理,已经不能满足消费者的需求。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
本实用新型要解决的技术问题是提供操作简便,防止操作人员电极孔上反的情况出现,减少硅片脱落或碎片的产生,降低成本,结构设计合理,具有实用性的新型PEVCD上料的石墨舟小推车。
(二)技术方案
为解决上述技术问题,本实用新型所采用的技术方案是:一种新型PEVCD上料的石墨舟小推车,包括石墨舟存放台面(1)和结构框架(2),所述石墨舟存放台面(1)设在所述结构框架(2)上,所述石墨舟存放台面(1)上一端设有电极孔方向的标记(3),另一端设有定位孔(4),所述石墨舟存放台面(1)上设有若干耐高温层压条(5)。
所述耐高温层压条(5)间隔6cm距离设置。
所述结构框架(2)的两侧设有推车扶手(10),所述结构框架(2)的顶部设有转动轴(6),所述转动轴(6)与转动扶手(7)连接,所述转动轴(6)上设有所述石墨舟存放台面(1),所述结构框架(2)的侧面设有手动伸缩气缸(8),所述手动伸缩气缸(8)设有伸缩杆(9),所述伸缩杆(9)的顶端设于所述定位孔(4)内。
(三)有益效果
本实用新型相比较于现有技术,具有如下有益效果:由于石墨舟存放台面上一端设有电极孔方向的标记,有利于使电极孔方向统一并能被操作人员明显查看,从而杜绝电极孔上反造成的经济损失,同时可以提高工人工作效率;由于石墨舟存放台面上设有若干耐高温层压条,有利于减少上下料掉片产生的硅脱和碎片,降低了生产成本;由于石墨舟一端设有定位孔,结构框架的侧面设有手动伸缩气缸,手动伸缩气缸设有伸缩杆,伸缩杆的顶端设于所述定位孔内,石墨舟存放台面的定位精确度,避免造成石墨舟碎裂。本新型PEVCD上料的石墨舟小推车操作简便,防止操作人员电极孔上反的情况出现,减少硅片脱落或碎片的产生,降低成本,结构设计合理,具有实用性。
附图说明
图1是本实用新型的新型PEVCD上料的石墨舟小推车的石墨舟存放台面的结构图。
图2是本实用新型的新型PEVCD上料的石墨舟小推车的结构图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细描述。以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。
如图1和图2所示的,一种新型PEVCD上料的石墨舟小推车,包括石墨舟存放台面1和结构框架2,所述石墨舟存放台面1设在所述结构框架2上,所述石墨舟存放台面1上一端设有电极孔方向的标记3,另一端设有定位孔4,所述石墨舟存放台面1上设有若干耐高温层压条5。
所述耐高温层压条5间隔6cm距离设置。
所述结构框架2的两侧设有推车扶手10,所述结构框架2的顶部设有转动轴6,所述转动轴6与转动扶手7连接,所述转动轴6上设有所述石墨舟存放台面1,所述结构框架2的侧面设有手动伸缩气缸8,所述手动伸缩气缸8设有伸缩杆9,所述伸缩杆9的顶端设于所述定位孔4内。
本实用新型由于石墨舟存放台面上一端设有电极孔方向的标记,有利于使电极孔方向统一并能被操作人员明显查看,从而杜绝电极孔上反造成的经济损失,同时可以提高工人工作效率;由于石墨舟存放台面上设有若干耐高温层压条,有利于减少上下料掉片产生的硅脱和碎片,降低了生产成本;由于石墨舟一端设有定位孔,结构框架的侧面设有手动伸缩气缸,手动伸缩气缸设有伸缩杆,伸缩杆的顶端设于所述定位孔内,石墨舟存放台面的定位精确度,避免造成石墨舟碎裂。本实用新型操作简便,防止操作人员电极孔上反的情况出现,减少硅片脱落或碎片的产生,降低成本,结构设计合理,具有实用性。
当然,以上仅是本实用新型的具体应用范例,对本实用新型的保护范围不构成任何限制。除上述实施例外,本实用新型还可以有其它实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案,均落在本实用新型所要求保护的范围之内。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的